上海昶火微电子科技有限公司殷智俊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海昶火微电子科技有限公司申请的专利一种小同步带硅片发片系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222714600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420854352.2，技术领域涉及：B65G59/06；该实用新型一种小同步带硅片发片系统是由殷智俊;潘吉;谢超伟设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种小同步带硅片发片系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种小同步带硅片发片系统，包括无接触发片机、硅片存储花篮和无接触发片轨道，无接触发片机包括机体和伺服电机，伺服电机位于机体的一侧，且伺服电机与机体固定连接，无接触发片轨道位于机体的顶部，硅片存储花篮位于无接触发片轨道一侧，且硅片存储花篮与机体固定连接，无接触发片轨道包括支架和两个喷气装置，喷气装置安装在支架的两侧，喷气装置的外侧设有进气口，两个喷气装置的顶部均设有陶瓷垫片，其陶瓷垫片与喷气装置固定连接，且陶瓷垫片上设有多个喷气口，使得硅片在传动过程中不会与输送线体产生接触，避免了皮带或者同步带直接接触硅片，给硅片带来不同程度的污染。
本实用新型一种小同步带硅片发片系统在权利要求书中公布了：1.一种小同步带硅片发片系统，其特征在于，包括无接触发片机1、硅片存储花篮2和无接触发片轨道3，所述无接触发片机1包括机体1a和伺服电机1b，伺服电机1b位于机体1a的一侧，且伺服电机1b与机体1a固定连接，所述无接触发片轨道3位于机体1a的顶部，硅片存储花篮2位于无接触发片轨道3一侧，且硅片存储花篮2与机体1a固定连接，所述无接触发片轨道3包括支架3a和两个喷气装置3b，其支架3a与机体1a固定连接，且喷气装置3b安装在支架3a的两侧，喷气装置3b的外侧设有进气口3c，所述两个喷气装置3b的顶部均设有陶瓷垫片3d，其陶瓷垫片3d与喷气装置3b固定连接，且陶瓷垫片3d上设有多个喷气口3e。
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