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龙图腾网恭喜颀谱电子科技(南通)有限公司申请的专利一种晶圆转移用夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222720392U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420736599.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆转移用夹具是由熊少龙;朱亮亮;张涛设计研发完成，并于2024-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆转移用夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆转移用夹具，包括安装盘，所述安装盘下端面的外边缘设置有若干个装夹机构，所述安装盘的上端还设置有与装夹机构相匹配的用于抬升晶圆的吹气组件，所述安装盘上的安装槽内还设置有控制器；本实用新型结构简单，设计合理，实现了对晶圆的无损装夹转运，与传统的夹具相比避免了对晶圆表面造成摩擦损伤，提高了晶圆的表面质量，与吸盘吸附转运相比安全性更高，没有中途偏移或掉落的风险，更加符合当前晶圆转运的装夹需求，同时实现了对高速风扇的启停以及气流排出方向的精确控制，由于上盖内的气流单次只能排向一个方向，因此气流的流速更高，对晶圆单侧的抬升效果也更好，有效提高了装夹效率。

本实用新型一种晶圆转移用夹具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转移用夹具，包括安装盘（1），其特征在于：所述安装盘（1）下端面的外边缘设置有若干个装夹机构（2），所述安装盘（1）的上端还设置有与装夹机构（2）相匹配的用于抬升晶圆的吹气组件（3），所述安装盘（1）上的安装槽内还设置有控制器（4）；所述装夹机构（2）包括有：定位块（201），所述定位块（201）呈环形阵列设置在安装盘（1）下端面的外边缘，所述定位块（201）下端的拐角处设置有电磁铁（202）；滑片（203），所述滑片（203）滑动连接在定位块（201）下端的滑槽内，所述滑片（203）的一端设置有与电磁铁（202）相匹配的永磁铁（204）；测距传感器（205），所述测距传感器（205）设置在安装盘（1）的下端面上位于定位块（201）的内侧。

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