恭喜常州科瑞尔科技有限公司叶伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州科瑞尔科技有限公司申请的专利一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222720393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420740854.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构是由叶伟;高文祥;唐光明设计研发完成，并于2024-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其是一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构。一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构，包括基座，基座上通过立杆固定有支撑板，支撑板内有可伸缩的扩摸支架，扩摸支架上覆盖有旋转盘，旋转盘上有均匀排布的弧形导槽，扩摸支架上有卡入到导槽内的导柱。这种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构，通过一个可旋转的旋转盘带动安放在支撑板上的扩摸支架进行前后移动，调整了扩摸支架的相对位置，使本装置能够使用不同尺寸晶圆的生产加工，无需更换对应的支撑机构，有效的提高了生产效率。
本实用新型一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体芯片晶圆膜片旋转支撑结构，包括基座1，其特征在于：基座1上通过立杆2固定有支撑板3，支撑板3内有可伸缩的扩摸支架4，扩摸支架4上覆盖有旋转盘5，旋转盘5上有均匀排布的弧形导槽，扩摸支架4上有卡入到导槽内的导柱6。
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