恭喜天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司张久武获国家专利权
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龙图腾网恭喜天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种用于晶圆周转的水箱工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222714175U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420719236.X,技术领域涉及:B65D81/22;该实用新型一种用于晶圆周转的水箱工装是由张久武;陈健华;谭永麟;何旭升;吴韬;堵志鹏;程志珅;张瑞设计研发完成,并于2024-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆周转的水箱工装在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于晶圆周转的水箱工装,包括水箱和底座,所述水箱内部设有料框,用于装载插有晶圆的晶圆盒,所述底座设置在所述水箱下方,与所述水箱分体设置,所述底座上设有定位板,所述定位板沿所述水箱的周向设置。本实用新型的有益效果是保证了晶圆在周转过程中不会被氧化,有效减少了晶圆的搬运次数,降低了晶圆磕碰的风险,简化了操作,提高了工作效率,可同时兼容人工周转和AGV自动周转两种周转模式。
本实用新型一种用于晶圆周转的水箱工装在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆周转的水箱工装,其特征在于,包括:水箱,内部设有料框,用于装载插有晶圆的晶圆盒;底座,设置在所述水箱下方,与所述水箱分体设置,所述底座上设有定位板,所述定位板沿所述水箱的周向设置。
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