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恭喜颀谱电子科技(南通)有限公司熊少龙获国家专利权

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龙图腾网恭喜颀谱电子科技(南通)有限公司申请的专利一种晶圆覆膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222720348U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420549439.9,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆覆膜设备是由熊少龙;朱亮亮;张涛设计研发完成,并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆覆膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆覆膜设备,包括底座和上盖,所述底座内部的安装槽内设置有若干个支撑杆,所述支撑杆的上端位于底座内部安装槽的上方居中设置有定位盘,所述支撑杆的上端位于定位盘的外侧依次套设有第一定位环和第二定位环,所述底座内部的安装槽内还活动设置有修边组件,所述修边组件和底座之间还设置有升降机构;本实用新型结构简单,设计合理,实现了对覆膜完成的晶圆快速修边的效果,简化了修边流程,提高了操作便利性和修边效率,边缘处理光滑,修边质量更好,同时对各个修边盘进行独立的升降控制,从而实现根据不同尺寸的晶圆驱动对应尺寸的修边盘进行修边的效果,进一步保证了晶圆的修边质量和效率。

本实用新型一种晶圆覆膜设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆覆膜设备,包括底座(1)和上盖(2),其特征在于:所述底座(1)内部的安装槽内设置有若干个支撑杆(3),所述支撑杆(3)的上端位于底座(1)内部安装槽的上方居中设置有定位盘(4),所述支撑杆(3)的上端位于定位盘(4)的外侧依次套设有第一定位环(5)和第二定位环(6),所述底座(1)内部的安装槽内还活动设置有修边组件(7),所述修边组件(7)和底座(1)之间还设置有升降机构(8);所述修边组件(7)包括有:第一修边盘(701),所述第一修边盘(701)活动设置在底座(1)内部的安装槽内,所述第一修边盘(701)的上端与第二定位环(6)的外环壁滑动连接;第二修边盘(702),所述第二修边盘(702)活动设置在第一修边盘(701)的上方,所述第二修边盘(702)的上端分别与第二定位环(6)的内环壁和第一定位环(5)的外环壁滑动连接;第三修边盘(703),所述第三修边盘(703)活动设置在第二修边盘(702)的上方,所述第三修边盘(703)的上端分别与第一定位环(5)的内环壁和定位盘(4)的外壁滑动连接;热熔丝(704),所述热熔丝(704)分别设置在第一修边盘(701)、第二修边盘(702)和第三修边盘(703)的上端用于热熔裁切薄膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人颀谱电子科技(南通)有限公司,其通讯地址为:226001 江苏省南通市崇川区胜利路168号2幢2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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