恭喜深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司杨宝立获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利硼扩散反应进气系统及反应设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222715503U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420385147.6，技术领域涉及：C30B31/16；该实用新型硼扩散反应进气系统及反应设备是由杨宝立;邓金生;张春设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本硼扩散反应进气系统及反应设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硼扩散反应进气系统及反应设备，硼扩散反应进气系统包括硼源进气组件与反应进气组件，硼源进气组件包括第一进气管，第一进气口用于通入硼源，第一进气口用于直接连通反应腔，反应进气组件包括至少一个第二进气管，第二进气口用于通入氧气或氮气，第二进气管与所述第一进气管隔绝；反应设备包括硼扩散反应进气系统。本实用新型中，第一进气管与第二进气管相互隔绝，硼源与其他反应气体分别通过第一进气管与第二进气管进气，阻断了硼源气体与氧气在反应腔外的混合，降低了硼源气体与反应气体在进入反应腔之前提前反应的可能性，并降低进气方式对反应腔内气场的影响，提高硅片方阻的均匀性。
本实用新型硼扩散反应进气系统及反应设备在权利要求书中公布了：1.硼扩散反应进气系统，其特征在于，包括：硼源进气组件，包括第一进气管，所述第一进气管的两端分别形成第一进气口与第一出气口，所述第一进气口用于通入硼源，所述第一出气口用于直接连通反应腔；反应进气组件，包括至少一个第二进气管，所述第二进气管的两端具有第二进气口与第二出气口，所述第二进气口用于通入氧气或氮气，所述第二出气口用于连通反应腔，所述第二进气管与所述第一进气管隔绝。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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