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恭喜中国科学技术大学孙海定获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学技术大学申请的专利微型LED与微透镜集成器件、制备方法、及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118039771B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410176175.1,技术领域涉及:H10H20/855;该发明授权微型LED与微透镜集成器件、制备方法、及应用是由孙海定;姚继凯;余华斌设计研发完成,并于2024-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

微型LED与微透镜集成器件、制备方法、及应用在说明书摘要公布了:提供一种微型LED与微透镜集成器件、制备方法、及应用,制备方法包括:操作S1:生长外延片结构,所述外延片结构由下至上依次包括衬底、缓冲层、N型半导体材料层、多量子阱层、电子阻挡层与P型半导体材料层;操作S2:刻蚀一部分外延片结构,以使所述N型半导体材料层暴露表面;操作S3:在暴露出来的N型半导体材料层表面制作第一电极;操作S4:在P型半导体材料层表面制作第二电极;操作S5:在第一电极和第二电极以外的外延片结构表面制备绝缘层;操作S6:对应所述第一电极和第二电极上沉积金属电极焊盘,得到微型LED结构;以及操作S7:在衬底背面制备微透镜,完成微型LED与微透镜集成器件的制备。

本发明授权微型LED与微透镜集成器件、制备方法、及应用在权利要求书中公布了:1.一种紫外微型LED与微透镜集成器件的制备方法,包括:操作S1:生长外延片结构,所述外延片结构由下至上依次包括衬底(1)、缓冲层(2)、N型半导体材料层(3)、多量子阱层(4)、电子阻挡层(5)与P型半导体材料层(6);操作S2:刻蚀一部分外延片结构,以使所述N型半导体材料层(3)暴露表面;操作S3:在暴露出来的N型半导体材料层(3)表面制作第一电极(7);操作S4:在P型半导体材料层(6)表面制作第二电极(8);操作S5:在第一电极(7)和第二电极(8)以外的外延片结构表面制备绝缘层(9);操作S6:对应所述第一电极(7)和第二电极(8)上沉积金属电极焊盘(10),得到微型LED结构;以及操作S7:在衬底(1)背面制备微透镜,完成微型LED与微透镜集成器件的制备;所述操作S7包括:在衬底(1)背面沉积制备高折射率材料层(11);以及刻蚀一部分区域的高折射率材料层(11),刻蚀出同心圆环光栅图形,以获得能达到聚焦效果的微透镜;所述高折射率材料层(11)的制备材料选自氧化硅,氧化锌,氧化镁,氧化镓,氮化硅,氮化铝或氮化钪的任意一种,所述高折射率材料层(11)的厚度为5-5000nm;微型LED的尺寸为10nm2~1mm2,发射出的紫外光从衬底底部出射,出射时经背面微透镜汇聚,形成发光阵列后,在纳米尺度上具有分辨率>600ppi的发射;在一个微型LED底部集成微透镜阵列,或在微型LED阵列底部集成单个微透镜,将微型LED与微透镜集成器件制成阵列后,通过分别控制每个阵列单元像素是否发光,实现特殊图像的显示,发光阵列作为紫外光源用于无掩膜光刻中、单像素成像中、和提供图形化紫外光源。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学技术大学,其通讯地址为:230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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