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恭喜杭州和韵科技有限公司金波愔获国家专利权

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龙图腾网恭喜杭州和韵科技有限公司申请的专利一种表面可选择性金属化陶瓷及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117843400B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410017726.X,技术领域涉及:C04B41/88;该发明授权一种表面可选择性金属化陶瓷及其制备方法与应用是由金波愔;颜昌利;陈康壮;章文笔设计研发完成,并于2024-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种表面可选择性金属化陶瓷及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开一种表面可选择性金属化陶瓷,采用如下步骤制备得到:1陶瓷基材表面覆盖;2陶瓷基材表面未覆盖部分预处理:除油脂与表面羟基化、自组装单分子层的形成及其致密化、活化;3陶瓷基材表面未覆盖部分金属化;4去除3D打印油墨覆盖层。本发明表面可选择性金属化陶瓷的制备方法简便易操作,过程绿色环保,成本低廉。本发明制备得到的陶瓷表面铜金属层与陶瓷基材之间的结合力优异,铜金属层致密度良好,且铜金属层中的微观组织结构均一。本发明表面可选择性金属化陶瓷及其制备方法可为新一代半导体制造技术提供参考,具有重大意义。

本发明授权一种表面可选择性金属化陶瓷及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种表面可选择性金属化陶瓷,其特征在于,所述表面可选择性金属化陶瓷采用如下步骤制备得到:(1)陶瓷基材表面覆盖:基于3D打印用油墨对陶瓷基材表面不需要金属化的部分进行精确覆盖,自然晾干备用;(2)陶瓷基材表面未覆盖部分预处理:将步骤(1)得到的陶瓷基材进行预处理,具体操作如下:(a)除油脂与表面羟基化:将步骤(1)得到的陶瓷基材浸入除油溶液中,以达到除去陶瓷基材表面包括氧化物、油脂在内的物质,并使其表面形成一层羟基层,之后取出水洗;其中,除油溶液具体组成成分为30~40gl氨水、25~35glNa2CO3、15~30glNaHCO3、25~40glNaH2PO4、5~8gl吐温-60、25~35glNa2SiO3、10~15glH2O2、0.3~0.8glN-乙酰乙酰苯胺和去离子水,其工作温度为65~70℃,工作时间为5~10min,工作过程中保持pH在7.5~8;(b)自组装单分子层的形成及其致密化:将步骤(a)得到的陶瓷基材浸入含有接枝剂的乙醇溶液中,以在陶瓷基材上得到自组装单分子层,之后取出水洗并干燥,再置于惰性气体中烘烤,使自组装单分子层致密化;其中,含有接枝剂的乙醇溶液为含10~25gl硅烷偶联剂KH-550的乙醇溶液,其工作温度为25~30℃,工作时间为15~25min;干燥温度为45~65℃,干燥时间为5~10min;惰性气体为N2或Ar,烘烤温度为55~65℃,烘烤时间为30~45min;(c)活化:先将步骤(b)得到的带有自组装单分子层的陶瓷基材浸入含有Ni2+的活化液中使其捕捉Ni2+,取出后再将其浸入还原溶剂中使其捕捉的Ni2+被还原成Ni,之后取出水洗备用;其中,Ni2+由醋酸镍、硫酸镍、氨基磺酸镍、碱式碳酸镍中的一种或几种提供;含有Ni2+的活化液具体组成成分为15~25glNi2+、5~10gl乙醇酸、15~20gl苹果酸、10~25gl乳酸和去离子水,其工作温度为25~35℃,工作时间为5~20min;还原溶剂具体组成成分为15~25gl硼氢化钾和去离子水,其工作温度为65~70℃,工作时间为5~8min;(3)陶瓷基材表面未覆盖部分金属化:将步骤(2)得到的陶瓷基材浸入化学镀铜溶液中进行化学镀,使其表面覆盖一层铜金属层,以达到金属化的目标,之后取出水洗;其中,化学镀铜溶液具体组成成分为5~8glCu2+、1~3gl氨基磺酸、2~5gl天门冬氨酸、15~25gl乙二胺四乙酸、10~25gl酒石酸、15~30gl还原剂、3~8ppm表面活性剂、2~5mll乙二醇、5~10ppm稳定剂;Cu2+由乙酸铜、硫酸铜、草酸铜中的一种或几种提供,还原剂为乙醛酸、硼氢化钾中的一种或两种,表面活性剂为十六烷基三甲基溴化铵、二辛基琥珀酸磺酸钠、牛磺酸中的一种或几种,稳定剂为异硫脲丙磺酸内盐、脲、硫酸亚锡、苹果酸、S-羧乙基异硫脲嗡盐中的一种或几种,溶剂为去离子水;其工作温度为85~90℃,工作时间为85~90min,工作过程中保持pH在8.5~9;(4)去除3D打印油墨覆盖层:将步骤(3)得到的陶瓷浸入乙醇溶液中,溶解3D打印油墨覆盖层,之后取出水洗并风干,即得到表面可选择性金属化陶瓷。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州和韵科技有限公司,其通讯地址为:311599 浙江省杭州市桐庐县经济开发区运栖路157号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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