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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117727609B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311747455.5，技术领域涉及：H01J37/02；该发明授权基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备是由蒋俊海;孙伟强设计研发完成，并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备，包括：基于启动定位信号，生成定位动作指令；基于所述定位动作指令，控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动，以确定工件台运动过程中的第一位置偏差；基于所述第一位置偏差，生成扫描补偿信号；基于所述扫描补偿信号进行电子束扫描，扫描补偿信号在电子束扫描过程中驱动电子束相对工件台运动。本申请基于振动弛豫的扫描补偿方法通过优化工件台定位流程，降低了电子束扫描成像中由于振动弛豫导致的图像质量下降问题，提升了扫描图像分辨率，提高了成像速度和设备整体产能。

本发明授权基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种基于振动弛豫的扫描补偿方法，其特征在于，包括：基于启动定位信号，生成定位动作指令，所述定位动作指令包括工件台的起始位置和目标位置，所述起始位置为工件台的中心当前所在位置，所述目标位置为电子束扫描视场的中心所在位置；基于所述定位动作指令，控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范围，包括：基于工件台的起始位置和目标位置，控制工件台朝向所述目标位置进行运动，以确定工件台运动过程中的第二位置偏差；在所述第二位置偏差小于预设阈值的情况下，确定所述工件台运动至振动补偿范围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动，以确定工件台运动过程中的第一位置偏差；包括：在控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动的过程中，实时获取所述工件台的中心的当前位置；基于所述工件台的中心的当前位置和所述目标位置，确定当前的所述第一位置偏差；基于所述第一位置偏差，生成扫描补偿信号；基于所述扫描补偿信号进行电子束扫描，所述扫描补偿信号在电子束扫描过程中驱动电子束相对工件台运动。

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