买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中国科学院兰州化学物理研究所申请的专利一种宏观超润滑固液复合薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117660909B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311724611.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种宏观超润滑固液复合薄膜的制备方法是由张斌;朱永明;张俊彦设计研发完成，并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种宏观超润滑固液复合薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种宏观超润滑的固液复合薄膜的制备方法，该方法是指：首先通过改变偏压和氮气流量，制备非晶纳米晶的多层复合薄膜结构；其次通过添加双氧水在聚乙二醇和磷酸混合液中原位反应生成类磷酸酯水合溶液；最后将混合溶液均匀地滴加或涂抹或浸渍在所述的薄膜上，即得一种固液复合薄膜。本发明方法简单，而且效率高，所得的固液复合薄膜能够在大气环境下实现稳定的宏观超润滑，为工程应用提供基础数据和思路。

本发明授权一种宏观超润滑固液复合薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种宏观超润滑固液复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）非晶纳米晶多层复合薄膜制备采用钛靶和硅靶，利用高功率磁控溅射法，通过改变偏压和氮气流量，在钢基材表面生成由Ti衬底层-TiN中间层-Si过渡层-SiNx表面层组成的非晶纳米晶多层复合薄膜结构；利用高功率磁控溅射法制备非晶纳米晶多层复合薄膜结构的具体步骤如下：第一步，在-600V偏压下，清洗钢块表面污染物；第二步，在-70V偏压下，溅射钛靶，在钢块表面制备一层Ti衬底层；第三步保持-70V偏压不变，通入30sccm的氮气，制备TiN薄膜；第四步，将偏压提高到-100V，溅射硅靶，在氮化钛的基础上生长一层Si过渡层；第五步，保持-100V偏压不变，通入50sccm的氮气，制备SiNx薄膜；在制备过程中，靶材与工架的转速分别为0.132ms和0.079ms，靶材与工架的距离为110mm，钛靶和硅靶均采用磁通量为5000的铷铁硼磁铁；2）超润滑固液复合薄膜制备将物理超声混合得到的润滑液，通过滴加、涂抹或浸渍在步骤1）制备的非晶纳米晶多层复合薄膜结构中5-10min，取出晾干，即可得到超润滑固液复合薄膜；采用物理超声混合法制备润滑液的具体步骤如下：称取质量比为1-1.2:1-1.2:0.2-0.4的聚乙二醇、磷酸、双氧水，首先对聚乙二醇和磷酸进行超声混合处理10-15min，然后将双氧水加入混合溶液中继续超声处理30-40min，促进聚乙二醇和磷酸反应生成类磷酸酯润滑液。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院兰州化学物理研究所，其通讯地址为：730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。