恭喜拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司魏薇获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利喷淋板组件及薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117127171B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311116736.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权喷淋板组件及薄膜沉积设备是由魏薇;张赛谦;王婷;刘肖朦设计研发完成，并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋板组件及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供了喷淋板组件及薄膜沉积设备。该喷淋板组件包括：喷淋板及上盖板。该上盖板位于该喷淋板上方，该上盖板的中心具有进气口，该上盖板上呈放射状自该进气口延径向设置有多排通气单元，该多排通气单元的下部贯穿该上盖板的下表面，朝向该喷淋板的上部通气。
本发明授权喷淋板组件及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋板组件，其特征在于，包括：喷淋板；上盖板，该上盖板位于该喷淋板上方，该上盖板的中心具有进气口，该上盖板上呈放射状自该进气口延径向设置有多排通气单元，该多排通气单元的下部贯穿该上盖板的下表面，朝向该喷淋板的上部通气；该喷淋板上分布多圈水滴形喷淋孔，该水滴形喷淋孔内圈孔数少于外圈，且该喷淋板上的该水滴形喷淋孔整体呈旋流式排布。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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