恭喜科磊股份有限公司E·佩莱德获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利叠加计量中的参考图像分组获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117980830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380013706.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权叠加计量中的参考图像分组是由E·佩莱德;N·科昂;Y·拉姆霍特设计研发完成，并于2023-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本叠加计量中的参考图像分组在说明书摘要公布了：一种叠加计量系统可包含控制器，所述控制器：用于接收与一或多个样本上的多个叠加目标相关联的计量数据；基于所述计量数据产生所述多个叠加目标中的至少一些的参考度量，其中所述参考度量与促成叠加误差的所述相应叠加目标的一或多个性质相关联；基于针对所述多个叠加目标计算的所述参考度量将所述多个叠加目标分类成一或多个群组；产生用于所述一或多个群组中的至少一些的参考图像；使用用于所述一或多个群组中的至少一些的所述相关联参考图像产生经校正计量数据；及基于所述经校正计量数据产生所述多个叠加目标的叠加测量。
本发明授权叠加计量中的参考图像分组在权利要求书中公布了：1.一种叠加计量系统，其包括：控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令，从而致使所述一或多个处理器通过以下者实施计量配方：接收与一或多个样本上的多个叠加目标相关联的计量数据；基于所述计量数据产生所述多个叠加目标中的至少一些的参考度量，其中所述多个叠加目标的特定者的所述参考度量与促成叠加误差的所述多个叠加目标中的所述特定者的一或多个性质相关联；基于针对所述多个叠加目标计算的所述参考度量将所述多个叠加目标分类成一或多个群组；产生用于所述一或多个群组中的至少一些的参考图像，其中所述参考图像缓解所述多个叠加目标的工具引发移位误差；使用与所述一或多个群组中的至少一些相关联的所述参考图像产生经校正计量数据；及基于所述经校正计量数据产生所述多个叠加目标的叠加测量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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