买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆稳定清洁装置及清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799122B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211612423.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆稳定清洁装置及清洁方法是由吴伟;张德海;孙立会设计研发完成，并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆稳定清洁装置及清洁方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆稳定清洁装置及清洁方法，包括清洗安装平台，所述清洗安装平台上端安装有清洗组件，所述清洗安装平台上端设置有搬运组件，所述搬运组件位于清洗组件一侧，所述清洗组件为相对设置的两组，所述清洗组件包括清洗安装套筒，所述清洗安装套筒内壁设置有第一清洗安装部以及第二清洗安装部，所述第一清洗安装部包括第一清洗安装板，所述第一清洗安装板为圆盘状，所述第一清洗安装板外壁固定连接有第一清洗部件。该发明能够对晶圆进行有效限位，通过依次对晶圆内外圈进行清理，保证晶圆稳定的状态下，提高了晶圆清洁的效率以及效果。

本发明授权一种晶圆稳定清洁装置及清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆稳定清洁装置，包括清洗安装平台（1），所述清洗安装平台（1）上端安装有清洗组件（5），所述清洗安装平台（1）上端设置有搬运组件，所述搬运组件位于清洗组件（5）一侧，其特征在于，所述清洗组件（5）为相对设置的两组，所述清洗组件（5）包括清洗安装套筒（501），所述清洗安装套筒（501）内壁设置有第一清洗安装部（8）以及第二清洗安装部（9），所述第一清洗安装部（8）包括第一清洗安装板（801），所述第一清洗安装板（801）为圆盘状，所述第一清洗安装板（801）外壁固定连接有第一清洗部件（802），所述第一清洗安装部（8）还包括第一驱动组件用于控制第一清洗安装板（801）转动，所述第二清洗安装部（9）包括第二清洗安装板（901），所述第二清洗安装板（901）为圆环状，所述第二清洗安装板（901）外壁固定连接有第二清洗部件（902），所述第二清洗安装部（9）还包括第二驱动组件用于控制第二清洗安装板（901）转动，所述第一清洗安装板（801）外壁设置有第一支撑组件（804），所述第二清洗安装板（901）外壁设置有第二支撑组件（904），所述清洗安装平台（1）上端设置有直线控制装置（7）用于控制两个清洗组件（5）线性移动；所述第一清洗部件（802）以及第二清洗部件（902）均为清洁条，所述清洁条表面固定连接有柔性的清洁凸起，所述清洁条为平面螺旋状且均由内侧朝着外侧方向延伸；所述第一清洗安装板（801）以及第二清洗安装板（901）之间具有预定间隙，第一个清洁条末端朝着间隙方向延伸并且设置有过盈部，所述过盈部与第一个清洁条之间通过弹性件弹性连接；所述第一支撑组件（804）以及第二支撑组件（904）均包括若干个伸缩杆，所述第一清洗安装板（801）以及第二清洗安装板（901）侧壁分别开有用于容纳伸缩杆的容纳开口，所述伸缩杆的伸缩末端安装固定有支撑部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，其通讯地址为：244000 安徽省铜陵市义安区南海路；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。