恭喜科磊股份有限公司R·巴恩瓦尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利设置用于检验样品的关注区域获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117425819B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280039913.7，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权设置用于检验样品的关注区域是由R·巴恩瓦尔;S·马宗德设计研发完成，并于2022-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本设置用于检验样品的关注区域在说明书摘要公布了：本发明提供设置用于检验样品的关注区域CA的方法及系统。一个系统包含经配置用于产生样品图像的成像子系统及经配置用于确定在所述样品上形成的重复图案化区域中产生的图像中的一或多者内的预定义单元中检测到的缺陷数量的计算机子系统。所述计算机子系统还经配置用于将所述预定义单元中的两者或更多者中的每一者中检测到的缺陷数量与预定阈值进行比较，且将其中缺陷数量大于预定阈值的所述预定义单元中的两者或更多者中的任何一或多者指定为一或多个CA。此外，所述计算机子系统经配置用于存储所述一或多个CA的信息，以用于检验所述样品。
本发明授权设置用于检验样品的关注区域在权利要求书中公布了：1.一种经配置以设置用于检验样品的关注区域的系统，其包括：成像子系统，其经配置用于产生样品的图像；及计算机子系统，其耦合到所述成像子系统的至少一个检测器且经配置用于：确定步骤：确定在所述样品上形成的重复图案化区域中产生的所述图像中的一或多者内的预定义单元中检测到的缺陷的数量；比较步骤：将所述预定义单元中的两者或更多者中的每一者中检测到的所述缺陷的所述数量与预定阈值进行比较，其中所述预定阈值经选择为低于存在系统噪声时检测到的缺陷数量；指定步骤：将其中所述缺陷的所述数量大于所述预定阈值的所述预定义单元中的所述两者或更多者中的任何一或多者指定为一或多个关注区域；及存储步骤：存储所述一或多个关注区域的信息，以用于检验所述样品。
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