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恭喜安徽工程大学黄胜洲获国家专利权

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龙图腾网恭喜安徽工程大学申请的专利一种微透镜面型动态调控优化控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115128911B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210766399.9,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种微透镜面型动态调控优化控制方法是由黄胜洲;谢芳琳;徐曼曼;蒋铖玮;李懿;孙佳乐;王风涛;王雷;韦山设计研发完成,并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种微透镜面型动态调控优化控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微透镜面型动态调控优化控制方法,该方法包括以下步骤:输入目标轮廓方程和初始曝光剂量;进行曝光模拟,确定溶解速率分布;进行显影工艺模拟,确定最佳显影时间;判断是否满精度要求,若未达到精度要求,则进行程序优化直到达到所需精度;重复以上步骤,找到不同焦点处的最小误差,输出最优参数组合,实现微透镜三维面型的精细调控。本发明不仅节约了设计时间,还提高了目标结构的制造精度和质量。

本发明授权一种微透镜面型动态调控优化控制方法在权利要求书中公布了:1.一种微透镜面型动态调控优化控制方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:步骤S1:输入目标微透镜结构轮廓方程和初始实验确定的曝光剂量,计算光刻胶内部的曝光剂量分布;步骤S2:利用初始参数进行曝光模拟,再结合经验溶解速率模型,确定溶解速率分布;步骤S3:再利用快速行进算法进行显影工艺模拟,确定当前曝光剂量下的最佳显影时间;步骤S4:评估仿真模拟的微透镜结构与目标轮廓之间的误差,判断是否满足精度要求,检查是否满足停止条件;步骤S5:如果没有达到精度要求,使用基于灵敏度分析的最速下降法优化程序调整曝光剂量,重复步骤S1-S4,直到优化达到所需的精度或达到停止条件为止;步骤S6:重复步骤S1-S5,找到不同焦点位置处最小误差,从而得到最佳的曝光剂量、焦点位置和显影时间的参数组合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽工程大学,其通讯地址为:241000 安徽省芜湖市鸠江区北京中路;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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