恭喜华中科技大学孙军强获国家专利权
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龙图腾网恭喜华中科技大学申请的专利一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114815332B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210470997.1,技术领域涉及:G02F1/125;该发明授权一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件是由孙军强;黄楚坤设计研发完成,并于2022-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件,属于集成光学技术领域,该器件自下至上依次包括硅衬底1、埋氧层2、硅波导层3、缓冲层4、压电薄膜5和叉指换能器6。叉指换能器6在外加电信号的驱动下,使压电薄膜5内部形成周期性的电场并通过压电效应激励起声场,最终在硅波导层3的总线波导中实现不同光场模式与声场的相互作用,并通过非对称定向耦合器实现对不同光场模式的复用或解复用。本发明通过电驱动压电薄膜在非压电的硅波导中实现单边带声光调制,能够独立调控声场和光场,而且缓冲层4的引入解决了硅波导中光传输损耗较大和压电薄膜的晶体生长质量劣化的问题。
本发明授权一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件在权利要求书中公布了:1.一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件,其特征在于,从下至上依次包括硅衬底(1)、埋氧层(2)、硅波导层(3)、缓冲层(4)、压电薄膜(5)和叉指换能器(6);其中,所述硅波导层(3)包含总线波导(7)、第一分支波导(8)和第二分支波导(9),均为脊波导,总线波导(7)与第一分支波导(8)、第二分支波导(9)相互耦合,用于将不同的光场模式在总线波导(7)中复用或从总线波导(7)中解复用;所述硅波导层(3)中的第一分支波导(8)和第二分支波导(9)的结构是一致的,分别设置在输入和输出端口;总线波导(7)和第一分支波导(8)、第二分支波导(9)组成非对称定向耦合器;所述叉指换能器(6)用于在外加电信号的驱动下,使压电薄膜(5)内部形成周期性的电场,通过压电效应而激励起声场,激励的声场经由缓冲层(4)传导至硅波导层(3)中,最终在硅波导层(3)中的总线波导(7)实现光场和声场的相互作用。
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