恭喜湖北和远气体股份有限公司江罗获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖北和远气体股份有限公司申请的专利一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114560476B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210167909.0,技术领域涉及:C01C1/02;该发明授权一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺是由江罗;杨涛;杜大艳;方强;曹小林;焦文艺设计研发完成,并于2022-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺,所述装置包括依次连通的汽化单元、用于脱硫脱水的预处理单元、脱轻单元、脱重单元和用以除水、氧和金属的后纯化单元,及用于对汽化单元和精馏系统加热的供热系统;所述装置可便捷高效地除去水、氧及金属等杂质获得超纯氨;此外供热系统的介质既提供热源,又提供冷源,实现连续化节能生产;高低沸点组分的脱除可作为工业氨回收利用,无废气排放。
本发明授权一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺在权利要求书中公布了:1.一种制备半导体用超纯氨的装置,其特征在于,包括依次连通的汽化单元、预处理单元、精馏系统和后纯化单元,及用于对汽化单元和精馏系统加热的供热系统;汽化单元用于将工业液氨进行汽化;预处理单元用于脱硫和除去水分;精馏系统由脱轻单元和脱重单元串联组成,脱轻单元和脱重单元均至少包含一个精馏塔,氨气经精馏系统依次脱去轻组分和重组分;后纯化单元用于除去水分、氧及金属;所述预处理单元包括依次连通的脱硫器(2)和吸附器(3);脱硫器(2)内填充有活性炭,吸附器(3)内装有以氢氧化钠和硝酸铁改性分子筛;所述纯化单元包括依次连通的第一纯化器(7)和第二纯化器(8);第一纯化器(7)内填充γ-Al2O3,第二纯化器(8)内填充碱金属苯乙烯系阳离子交换脂。
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