恭喜美商楼氏电子有限公司P·V·洛佩特获国家专利权
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龙图腾网恭喜美商楼氏电子有限公司申请的专利具有电极和电介质的MEMS装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114590770B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111454000.5,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权具有电极和电介质的MEMS装置是由P·V·洛佩特;M·佩德森设计研发完成,并于2021-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有电极和电介质的MEMS装置在说明书摘要公布了:本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。MEMS装置的第一电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向,并且可以具有第一端和第二端。第二电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向,并且可以具有第一端和第二端。第三电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向,并且可以具有第一端和第二端。第一电极、第二电极和第三电极可以各自至少部分地位于可以围绕第二电极的第二端和第三电极的第一端的固体电介质的多个孔中的一个孔内。第二电极的第一端和第三电极的第二端可以位于固体电介质的外部。
本发明授权具有电极和电介质的MEMS装置在权利要求书中公布了:1.一种微机电系统MEMS装置,所述MEMS装置包括:第一电极,所述第一电极沿轴向基准并平行于所述轴向基准纵向定向,所述第一电极具有第一端和第二端;第二电极,所述第二电极沿所述轴向基准并平行于所述轴向基准纵向定向,所述第二电极具有第一端和第二端;第三电极,所述第三电极沿所述轴向基准并平行于所述轴向基准纵向定向,所述第三电极具有第一端和第二端,其中,所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极相对于彼此固定;固体电介质,所述固体电介质包括多个通孔,其中,所述固体电介质中的所述多个通孔与所述轴向基准平行,所述固体电介质的第一表面和第二表面与垂直于所述轴向基准的平面平行,其中,所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极各自至少部分地位于所述多个通孔中的不同的通孔内,其中,所述第二电极的第二端和所述第三电极的第一端位于所述通孔内,并且其中,所述第二电极的第一端和所述第三电极的第二端位于所述固体电介质的外部,并且所述第一电极的第一端和所述第一电极的第二端分别穿过所述固体电介质的不同表面延伸并位于所述固体电介质的外部。
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