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龙图腾网恭喜杭州超钜科技有限公司申请的专利一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113465838B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110714196.0，技术领域涉及：G01M3/20；该发明授权一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法是由何镧;刘佳琪;王成宇;黄雷设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法。氢气传感器包括一个一端有进气口和测量探针、另一端有出气口和加热探针的气室，气室内有一个敏感元件，敏感元件包括基板及设在其正面、背面的测量电极和加热电极，测量电极和测量探针相连，加热电极和加热探针相连，加热电极上覆盖有屏蔽层，测量探针、加热探针还分别和位于气室外的信号电路电连接。敏感元件的制备方法为：采用真空镀膜方法将多壁碳纳米管负载钯‑金核壳粒子粉末镀制于基板正面，纳米光刻后形成测量电极；将铂粉末真空溅射于基板背面，纳米光刻后形成加热电极；采用脉冲激光沉积法形成氮化硅薄膜作为屏蔽层覆盖在加热电极上。本发明测氢灵敏度高，达到ppb级。

本发明授权一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于泄漏检测的氢气传感器的敏感元件的制备方法，用于泄漏检测的氢气传感器包括一个气室，气室的顶部设有一个进气口和两个测量探针，气室的底部设有一个出气口和两个加热探针，气室内设有一个挡在进气口和出气口之间的敏感元件，敏感元件包括基板及设在基板正面的测量电极、设在基板背面的加热电极，测量电极的两端分别和两个测量探针相连，加热电极的两端分别和两个加热探针相连，加热电极上覆盖有屏蔽层，测量探针、加热探针还分别和位于气室外的信号电路电连接；其特征在于在所述的基板的正面制备所述的测量电极，在基板的背面制备所述的加热电极，测量电极的制备方法包括下列步骤：①制备金核种子混合液；②制备游离钯离子溶液；③制备金核钯壳胶体溶液；④制备多壁碳纳米管负载钯-金核壳粒子粉末；⑤将多壁碳纳米管负载钯-金核壳粒子粉末作为溅射靶材，采用真空镀膜方法将多壁碳纳米管负载钯-金核壳粒子粉末镀制于基板上，形成氢敏薄膜，采用纳米光刻技术对氢敏薄膜进行光刻，形成测量电极。

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