恭喜ASMIP私人控股有限公司T.布兰夸特获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利用于沉积间隙填充流体的方法及相关系统和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113249706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110108471.4，技术领域涉及：C23C16/30；该发明授权用于沉积间隙填充流体的方法及相关系统和设备是由T.布兰夸特设计研发完成，并于2021-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于沉积间隙填充流体的方法及相关系统和设备在说明书摘要公布了：本文提供了用于制造包括基板的结构的方法和系统。所述基板包括多个凹部和多个侧向空间。所述凹部和侧向空间被间隙填充流体至少部分地填充。
本发明授权用于沉积间隙填充流体的方法及相关系统和设备在权利要求书中公布了：1.一种填充间隙的方法，所述方法包括：在反应器腔室中引入设置有间隙的基板，所述间隙包括凹部和从所述凹部基本上侧向地延伸的侧向空间；向所述反应器腔室中引入前体；向所述反应器腔室中引入共反应物；在所述反应器腔室中生成等离子体；由此，所述前体和所述共反应物反应形成间隙填充流体，所述间隙填充流体至少部分地填充所述间隙的所述凹部和所述侧向空间；以及固化所述间隙填充流体，且其中固定所述间隙填充流体包括在所述间隙已经填充所述间隙填充流体之后，使基板经受等离子体。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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