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龙图腾网恭喜先进科技新加坡有限公司申请的专利包含可变力分布的键合设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113140476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110055004.X，技术领域涉及：H01L21/603；该发明授权包含可变力分布的键合设备是由温名扬;张伟健;张宇赋设计研发完成，并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本包含可变力分布的键合设备在说明书摘要公布了：键合设备包括固持元件、固持元件致动器、传感器、控制器以及键合力调节致动器。使用时，所述固持元件固持电子元件，并且所述固持元件由所述固持元件致动器沿一个或多个致动方向移动，以使所述电子元件与基底构件相接触。响应于所述电子元件与所述基底构件之间的接触，所述传感器测量施加在所述固持元件上的反作用力。所述控制器根据所测量的反作用力确定在键合过程中要施加在所述固持元件的致动区域上的键合力，并且所述键合力调节致动器在键合过程中将这些键合力施加在所述固持元件的所述致动区域上，以调节所述电子元件相对于所述基底构件的倾斜。

本发明授权包含可变力分布的键合设备在权利要求书中公布了：1.一种键合设备，包括：固持元件，其构造为固持电子元件；多个固持元件致动器，其构造为沿一个或多个致动方向移动所述固持元件使得固持元件绕垂直于固持元件的中心轴的一个轴倾斜以使所述电子元件与基底构件相接触，且使所述固持元件围绕所述轴旋转以使所述电子元件与所述基底构件进一步接触，直到所述电子元件平行于所述基底构件；其中，所述一个或多个致动方向布置为平行于所述固持元件的中心轴，所述固持元件的中心轴延伸穿过所述电子元件以及所述基底构件；多个传感器，每个所述传感器配置为响应于所述电子元件与所述基底构件之间的接触，而在所述固持元件的相应位置处测量施加在所述固持元件上的反作用力；控制器，其配置为基于在所述相应位置处测量的反作用力，来确定在键合过程中要施加在所述固持元件的两个以上致动区域的键合力，以将所述电子元件键合到所述基底构件上；以及多个键合力调节致动器，其在所述键合过程中能操作以将所确定的键合力施加在所述固持元件的相应的所述致动区域上。

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