恭喜科米特技术美国股份有限公司S·E·萨瓦斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜科米特技术美国股份有限公司申请的专利射频等离子体处理系统的均匀性控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981916B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008616.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权射频等离子体处理系统的均匀性控制是由S·E·萨瓦斯;A·德尚布里耶设计研发完成，并于2021-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频等离子体处理系统的均匀性控制在说明书摘要公布了：一种射频等离子体处理系统，包括：反应室；部署在反应室中的基座；以及在基座与反应室之间的环中在基座周围以方位角部署的多个扇形板。
本发明授权射频等离子体处理系统的均匀性控制在权利要求书中公布了：1.一种射频等离子体处理系统，包括：反应室；基座，部署在所述反应室中；特征在于：故障检测器；以及多个扇形板，在所述基座与所述反应室之间的环中在所述基座周围以方位角部署，所述扇形板在操作中被可调整地供电以控制等离子体均匀性，其中：当电性质不超过由参考值集定义的限制时，所述故障检测器继续从部署在所述射频等离子体处理系统上的多个具有从100KHz到300MHz的高带宽的传感器接收所述电性质，并将所述电性质与所述参考值集进行比较；并且所述故障检测器相对于反应室对称轴比较射频基波和谐波的振幅和相位以确定非轴对称相位和振幅模式。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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