恭喜约翰内斯·海德汉博士有限公司K·森迪希获国家专利权
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龙图腾网恭喜约翰内斯·海德汉博士有限公司申请的专利光学位置测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113028998B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011425935.6,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权光学位置测量装置是由K·森迪希设计研发完成,并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学位置测量装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种光学位置测量装置,所述光学位置测量装置具有反射量具和相对于所述反射量具在至少一个测量方向上可移动的扫描单元。所述反射量具具有增量测量刻度以及在至少一个参考位置处具有参考标记。所述扫描单元除了包括用于产生增量信号的扫描装置之外还为了产生参考信号而包括至少一个光源、成像光学器件、布置在光阑平面中的光阑结构以及多个探测器元件;通过所述成像光学器件将所述参考标记成像到所述光阑结构上。所述参考标记以集成到所述增量测量刻度中的方式布置在所述反射量具上。此外,所述成像光学器件沿着横向方向具有变化的对象侧的焦距,其中所述横向方向垂直于测量方向定向。
本发明授权光学位置测量装置在权利要求书中公布了:1.光学位置测量装置,所述光学位置测量装置具有反射量具和相对于所述反射量具在至少一个测量方向x上可移动的扫描单元,-其中所述反射量具具有增量测量刻度以及在至少一个参考位置xREF处具有参考标记,并且-其中所述扫描单元除了包括用于产生增量信号的扫描装置之外还为了产生参考信号而包括至少一个光源、成像光学器件、布置在光阑平面中的光阑结构以及多个探测器元件,并且通过所述成像光学器件将所述参考标记成像到所述光阑结构上,其特征在于,-所述参考标记13以集成到所述增量测量刻度12中的方式布置在所述反射量具10上,并且-所述成像光学器件25沿着横向方向y具有变化的对象侧的焦距,其中所述横向方向垂直于测量方向x定向,所述成像光学器件25的对象侧的焦距被选择为,使得对于扫描单元20和反射量具10之间的每个扫描距离,所述对象侧的焦距都位于增量扫描的中性旋转点N的平面内,其中将所述增量扫描的中性旋转点N定义为如下点,其中所述扫描单元20或所述反射量具10可围绕所述点倾斜而不会导致在产生的增量信号INCA,INCB中的位置误差。
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