恭喜创意科技股份有限公司尾沢胜获国家专利权
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龙图腾网恭喜创意科技股份有限公司申请的专利着脱装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114144873B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080052475.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权着脱装置是由尾沢胜设计研发完成，并于2020-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本着脱装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种着脱装置，其利用静电吸盘方式，且即便为厚度薄的工件，工件着脱的响应性也优异。着脱装置，能够进行工件的吸附与脱离，其中，所述着脱装置包括：可加工陶瓷层；密接活化层，设置于所述可加工陶瓷层上；电极层，设置于所述密接活化层上；以及介电质层，设置于所述电极层上，所述电极层由所述密接活化层与所述介电质层被覆，且所述介电质层的体积电阻率为109Ω·cm～1012Ω·cm。
本发明授权着脱装置在权利要求书中公布了：1.一种着脱装置，其特征在于，能够进行工件的吸附与脱离，所述着脱装置包括：可加工陶瓷层，所述可加工陶瓷层含有SiO2；密接活化层，设置于所述可加工陶瓷层上；电极层，设置于所述密接活化层上；以及介电质层，设置于所述电极层上，所述密接活化层是由包含氧化铝系的陶瓷喷涂膜来形成，且室温的体积电阻率是109Ω·cm~1012Ω·cm或是1014Ω·cm~1016Ω·cm，所述电极层由所述密接活化层与所述介电质层包覆，且所述介电质层的体积电阻率为109Ω·cm～1012Ω·cm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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