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龙图腾网恭喜上海升翕光电科技有限公司申请的专利蒸镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113122808B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010032759.3，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀装置是由林文晶;钱海涛;轩景泉设计研发完成，并于2020-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸镀装置在说明书摘要公布了：本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚，具有蒸发槽；盖板，盖设于蒸发槽上；喷嘴组，与蒸发槽连通，喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，第二喷嘴组设置于第一喷嘴组的两端；第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，端部喷嘴位于第一喷嘴组沿排列方向的端部，端部喷嘴分别与第一喷嘴和第二喷嘴邻接；端部喷嘴和与其相邻的第一喷嘴或第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个第二喷嘴之间的间距为第三间距，第一间距大于第二间距，第二间距大于第三间距。本申请提供的蒸镀装置有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。

本发明授权蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：坩埚（1），具有蒸发槽（11），所述蒸发槽（11）的顶部横截面积大于所述蒸发槽（11）的底部横截面积；盖板（2），盖设于所述蒸发槽（11）上；喷嘴组（3），与所述蒸发槽（11）连通，所述喷嘴组（3）包括第一喷嘴组（31）和第二喷嘴组（32），沿所述喷嘴组（3）的排列方向（I），所述第二喷嘴组（32）设置于所述第一喷嘴组（31）的两端；沿排列方向（I），所述第一喷嘴组（31）包括多个第一喷嘴（311）和两个端部喷嘴（312），所述第一喷嘴（311）和所述端部喷嘴（312）的喷嘴出口直径相同，所述第二喷嘴组（32）包括多个第二喷嘴（321），所述端部喷嘴（312）位于所述第一喷嘴组（31）沿排列方向（I）的端部，所述端部喷嘴（312）分别与所述第一喷嘴（311）和所述第二喷嘴（321）邻接；所述端部喷嘴（312）和与其相邻的所述第一喷嘴（311）或所述第二喷嘴（321）之间的间距为第一间距（H1），相邻两个所述第一喷嘴（311）之间的间距为第二间距（H2），相邻两个所述第二喷嘴（321）之间的间距为第三间距（H3），所述第一间距（H1）大于所述第二间距（H2），所述第二间距（H2）大于所述第三间距（H3）。

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