买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利三维形貌的测量方法及测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112212815B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910628975.1，技术领域涉及：G01B15/04；该发明授权三维形貌的测量方法及测量装置是由黄鑫设计研发完成，并于2019-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本三维形貌的测量方法及测量装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种三维形貌的测量方法，包括如下步骤：a建立与样品模型的轮廓结构相对应的理论光谱数据库，理论光谱数据库包括样品模型的轮廓参数及与轮廓参数对应的理论光谱；b采用第一测量方法对样品的测量区域进行测量，获得样品在测量区域的第一类型参数，第一类型参数为轮廓参数中的一个参数；c采用第二测量方法对样品的测量区域进行测量，获得样品在测量区域的测量光谱；d从理论光谱数据库获取与步骤b获得的第一类型参数对应的理论光谱；e将步骤c中获得的测量光谱与步骤d获取的理论光谱进行匹配，将匹配度最高的理论光谱所对应的轮廓参数作为样品的轮廓参数。其优点在于，实现对样品的三维形貌的精确快速的测量。

本发明授权三维形貌的测量方法及测量装置在权利要求书中公布了：1.一种三维形貌的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：（a）建立与样品模型的轮廓结构相对应的理论光谱数据库，所述理论光谱数据库包括样品模型的轮廓参数及与所述轮廓参数对应的理论光谱；（b）采用第一测量方法对样品的测量区域进行测量，获得样品在所述测量区域的第一类型参数，所述第一类型参数为所述样品的关键尺寸；所述第一测量方法为X射线成像方法，采用所述X射线成像方法对所述样品进行测量的步骤如下：X射线入射至所述样品的测量区域，X射线透射光接收器设置在所述样品的测量区域的下方，用于接收透过所述样品的X射线，并将其转换为电信号，所述电信号传递至处理器，所述处理器根据所述电信号获得所述样品的测量区域的第一类型参数；所述X射线透射光接收器包括灵敏度不同的多个能量接收区，多个所述能量接收区以一定的能量步长递增排列，以增加所述X射线透射光接收器的灵敏度；（c）采用第二测量方法对所述样品的测量区域进行测量，获得样品在所述测量区域的测量光谱，所述第二测量方法为光学关键尺寸测量方法，采用所述光学关键尺寸测量方法对所述样品进行测量的步骤如下：椭圆偏振光入射至所述样品的测量区域，所述椭圆偏振光被所述样品反射，形成反射光；采集所述反射光，获得所述样品的测量区域的测量光谱；（d）从所述理论光谱数据库获取与步骤（b）获得的第一类型参数对应的理论光谱；（e）将步骤（c）中获得的测量光谱与步骤（d）获取的理论光谱进行匹配，将匹配度最高的理论光谱所对应的轮廓参数作为所述样品的轮廓参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司，其通讯地址为：230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。