恭喜朗姆研究公司萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利抗蚀剂和蚀刻建模获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112005347B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980027462.3，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权抗蚀剂和蚀刻建模是由萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼;大卫·M·弗瑞德设计研发完成，并于2019-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本抗蚀剂和蚀刻建模在说明书摘要公布了：计算机实施方法以及计算机程序产品具有用于生成传递函数的指令，所述传递函数将光刻光掩模上的区段与通过使用这样的区段的光刻及蚀刻操作所产生的特征相关联一。这种方法可以通过以下要素表征：a接收产生自一或多个第一测试衬底的显影后检验的检测结果，其中在所述一或多个第一测试衬底上已涂布抗蚀剂并使用成组的设计布局区段进行图案化；b接收产生自一或多个第二测试衬底的蚀刻后检验的检测结果，所述一或多个第二测试衬底是在将抗蚀剂涂布并使用所述成组的设计布局区段图案化之后受蚀刻；以及c将所述成组的设计布局区段与相对应的显影后检验的检测结果以及相对应的蚀刻后检验的检测结果一同使用于生成所述传递函数。
本发明授权抗蚀剂和蚀刻建模在权利要求书中公布了：1.一种生成传递函数的方法，所述传递函数将光刻光掩模上的区段与通过使用所述区段的光刻及蚀刻所产生的特征相关联，该方法包含：a接收成组的设计布局区段；b从计算抗蚀剂模型决定抗蚀剂特征轮廓，其中将该成组的设计布局区段作为输入提供至该计算抗蚀剂模型；c从计算蚀刻模型决定蚀刻特征轮廓，其中将该抗蚀剂特征轮廓作为输入提供至该计算蚀刻模型；以及d使用该成组的设计布局区段以及相对应的蚀刻特征轮廓生成所述传递函数，其中，所述传递函数是一个模型，该模型用于预测由所述计算抗蚀剂模型表示的光刻工艺和后续的由所述计算蚀刻模型表示的蚀刻工艺所得的输入设计布局区段中的蚀刻特征。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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