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龙图腾网恭喜深圳市德沃先进自动化有限公司申请的专利多向超声键合方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119237903B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411777658.3，技术领域涉及：B23K20/10；该发明授权多向超声键合方法和系统是由程炜;姚坚雄;晏加宝设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本多向超声键合方法和系统在说明书摘要公布了：本申请的实施例涉及半导体加工技术领域，尤其是多向超声键合方法和系统。该方法和系统包括和执行如下步骤：基于XY平台构建用于驱动键合工具的UVZ驱动模块，所述UVZ驱动模块至少包括进行高频运动的U轴运动单元和V轴运动单元；生成超声参数；根据所述超声参数，在键合加工时调用UVZ驱动模块的U轴运动单元和V轴运动单元单独或共同驱动键合工具进行高频振动。实现驱动键合工具的单方向上的高频振动，还可以通过对U轴运动单元和V轴运动单元的运动振幅和相角差的控制来实现驱动键合工具在振动范围内的任意方向和任意路径的高频振动，将传统的一维超声振动拓展为二维矢量超声振动，对键合质量和键合效率带来了极大提升。

本发明授权多向超声键合方法和系统在权利要求书中公布了：1.多向超声键合方法，其特征在于，包括如下步骤：基于XY平台构建用于驱动键合工具的UVZ驱动模块，所述UVZ驱动模块至少包括进行高频运动的U轴运动单元和V轴运动单元；生成超声参数，所述的超声参数中包括超声路径；根据所述超声参数，在键合加工时调用UVZ驱动模块的U轴运动单元和V轴运动单元单独或共同驱动键合工具进行高频振动；所述U轴运动单元，包括U轴音圈电机和U轴主体，所述U轴音圈电机包括U轴定子和U轴动子，所述U轴动子相对于所述U轴定子在U轴方向水平运动，所述U轴定子设于安装座上，所述U轴动子与所述U轴主体连接；所述V轴运动单元，包括V轴音圈电机和V轴主体，所述V轴音圈电机包括V轴定子和V轴动子，所述V轴动子相对于所述V轴定子在V轴方向水平运动，所述V轴定子设于安装座上，所述V轴动子与所述V轴主体连接；所述U轴运动单元、V轴运动单元通过电磁解耦和或机械解耦的方式进行单独运动或同时运动。

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