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龙图腾网恭喜江阴市辉龙电热电器有限公司申请的专利一种用于晶圆烘干的间歇蒸汽发生器控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119270748B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411775839.2，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种用于晶圆烘干的间歇蒸汽发生器控制方法及系统是由胡凯;苗培仁;于枫设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆烘干的间歇蒸汽发生器控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及控制领域，本发明涉及一种用于晶圆烘干的间歇蒸汽发生器控制方法及系统，方法包括：设置MPC算法的初始迭代次数；优化初始迭代次数，得到最优迭代次数；基于最优迭代次数，利用MPC算法对间歇蒸汽发生器进行控制；其中，采集晶圆样本烘干过程中烘干箱内部的温度数据，构建第一数据序列；计算第一数据序列的变化速率；当变化速率小于预设的温变阈值时，减小初始迭代次数；反之，计算外界干扰可能性，预设阈值；当外界干扰可能性大于等于预设的阈值时，减小初始迭代次数；反之，增加初始迭代次数。本发明通过动态调整迭代次数以减少MPC算法的计算量，应用MPC算法对间歇蒸汽发生器进行更精确的控制。

本发明授权一种用于晶圆烘干的间歇蒸汽发生器控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆烘干的间歇蒸汽发生器控制方法，其特征在于，包括：设置MPC算法的初始迭代次数；优化初始迭代次数，得到最优迭代次数；基于最优迭代次数，利用MPC算法对间歇蒸汽发生器进行控制；得到最优迭代次数的过程为：采集晶圆样本烘干过程中烘干箱内部的温度数据，构建第一数据序列；计算第一数据序列的变化速率，当变化速率小于预设的温变阈值时，减小初始迭代次数，得到最优迭代次数为：；反之，计算外界干扰可能性，设置阈值；当外界干扰可能性大于等于预设的阈值时，减小初始迭代次数，得到最优迭代次数为：，当外界干扰可能性小于预设的阈值时，增加初始迭代次数，得到最优迭代次数为：；式中，为最优迭代次数，为初始迭代次数，为变化速率，为外界干扰可能性，表示向上取整函数；计算外界干扰可能性的过程包括：获取烘干过程中烘干箱外部的温度数据，作为第二数据序列，并计算其变化速率；分别对第一数据序列和第二数据序列进行多项式拟合，得到对应的第一曲线和第二曲线，计算第一曲线和第二曲线的相似性；计算第一数据序列的变化速率和第二数据序列的变化速率的差值绝对值的倒数与所述相似性的倒数的乘积，将所述乘积取平方根得到所述外界干扰可能性。

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