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龙图腾网恭喜中国船舶集团有限公司第七〇七研究所申请的专利一种温度冲击下的MEMS应变测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197296B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411711481.7，技术领域涉及：G01B7/16；该发明授权一种温度冲击下的MEMS应变测量装置是由张健;赵鑫;吴文轩设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种温度冲击下的MEMS应变测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及应变测量技术领域，提供一种温度冲击下的MEMS应变测量装置，包括减震支架、补偿模块、第一测量电阻、第二测量电阻、待测MEMS基底、自动配重装置、温度箱和测量应变花；减震支架包括基板，测量应变花通过分层保温粘接和超声波处理后粘接于待测MEMS基底，并与补偿模块、第一测量电阻和测量电阻顺次连接构成环形，将待测MEMS基底、补偿模块、第一测量电阻和第二测量电阻布置在基板上后，将基板伸入温度箱中，装配应力补偿模块、胶粘应力补偿模块和基底弯曲应力补偿模块顺次连接构成补偿模块；自动配重装置包括控制电机和配重滑块，且通过控制电机推拉配重滑块。本发明可以有效测量MEMS器件的应变。

本发明授权一种温度冲击下的MEMS应变测量装置在权利要求书中公布了：1.一种温度冲击下的MEMS应变测量装置，其特征在于，包括减震支架、补偿模块、第一测量电阻、第二测量电阻、待测MEMS基底、自动配重装置、温度箱和测量应变花；其中，所述减震支架包括基板，所述测量应变花通过分层保温粘接和超声波处理粘接于所述待测MEMS基底，并与所述补偿模块、所述第一测量电阻和所述第二测量电阻顺次连接构成环形，将所述待测MEMS基底、所述补偿模块、所述第一测量电阻和所述第二测量电阻布置在所述基板上后，将所述基板伸入所述温度箱中，所述温度箱为所述待测MEMS基底和所述补偿模块提供变温环境；其中，所述基板包括固定壳体，所述待测MEMS基底中夹有柔性板，所述待测MEMS基底通过所述固定壳体固定在所述基板上；所述补偿模块包括装配应力补偿模块、胶粘应力补偿模块和基底弯曲应力补偿模块，所述装配应力补偿模块、所述胶粘应力补偿模块和所述基底弯曲应力补偿模块顺次连接构成所述补偿模块；其中，所述装配应力补偿模块包括装配应力补偿基底和配有背胶的装配应力补偿应变花，所述装配应力补偿应变花通过所述背胶固定在所述装配应力补偿基底上，所述装配应力补偿基底通过所述固定壳体固定在所述基板上；所述胶粘应力补偿模块包括胶粘应力补偿基底和胶粘应力补偿应变花，所述胶粘应力补偿应变花通过所述分层保温粘接和所述超声波处理粘接于所述胶粘应力补偿基底，所述胶粘应力补偿基底放置在所述基板上；所述基底弯曲应力补偿模块包括基底弯曲应力补偿基底和配有背胶的基底弯曲应力补偿应变花，所述基底弯曲应力补偿基底中夹有柔性板，所述基底弯曲应力补偿应变花通过所述背胶固定在所述基底弯曲应力补偿基底上，所述基底弯曲应力补偿基底放置在所述基板上；所述减震支架还包括悬臂，所述自动配重装置包括控制电机和配重滑块，所述自动配重装置安装在所述悬臂末端，所述控制电机推拉所述配重滑块。

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