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龙图腾网恭喜南京云极芯半导体科技有限公司申请的专利一种探针卡的空间转换器的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119199220B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411696783.1，技术领域涉及：G01R3/00；该发明授权一种探针卡的空间转换器的制造方法是由陈刚;孙杨设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种探针卡的空间转换器的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种探针卡的空间转换器的制造方法，包括：在陶瓷基板上表面依次形成钛层和第一铜层；在第一铜层上表面形成第一电路图形；在第一电路图形上形成第二铜层；去除除了位于第二铜层下方之外的钛层和第一铜层；在结构上表面依次形成镍层和第一金层；在结构上表面形成聚酰亚胺层；去除第一金层目标位置上表面的聚酰亚胺层后形成第二电路图形；在第二电路图形上形成第一镍钴合金层，继而形成第三电路图形；在第三电路图形上形成第二镍钴合金层，继而形成第四电路图形；在第四电路图形上形成第二金层；去除光刻胶，得到空间转换器。本发明提供的一种探针卡的空间转换器的制造方法，可以精确地调节探针安装位，提高探针对准精度。

本发明授权一种探针卡的空间转换器的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种探针卡的空间转换器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤10，对陶瓷基板（1）进行前处理；步骤20，在陶瓷基板（1）上表面溅射形成钛层（2），在钛层（2）上表面溅射形成第一铜层（3）；步骤30，在第一铜层（3）上表面涂敷光刻胶，形成第一光刻胶层（4），并进行曝光和显影，形成第一电路图形；步骤40，在第一电路图形上电镀形成第二铜层（5）；步骤50，去除第一光刻胶层（4）；步骤60，去除除了位于第二铜层（5）下方之外的钛层（2）和第一铜层（3）；步骤70，在第二铜层（5）上表面电镀形成镍层（6），在镍层（6）上表面以及钛层（2）、第一铜层（3）、第二铜层（5）和镍层（6）一周电镀形成第一金层（7）；步骤80，在陶瓷基板（1）和第一金层（7）上表面涂敷形成聚酰亚胺层（8）；步骤90，去除第一金层（7）目标位置上表面的聚酰亚胺层（8）；步骤100，在第一金层（7）目标位置和聚酰亚胺层（8）上表面涂敷光刻胶，形成第二光刻胶层（9），并进行曝光和显影，形成第二电路图形；步骤110，在第二电路图形上电镀形成第一镍钴合金层（10），对第一镍钴合金层（10）进行平坦化处理；步骤120，在第一镍钴合金层（10）和第二光刻胶层（9）上表面涂敷光刻胶，形成第三光刻胶层（11），并进行曝光和显影，形成第三电路图形；步骤130，在第三电路图形上电镀形成第二镍钴合金层（12），对第二镍钴合金层（12）进行平坦化处理；步骤140，在第二镍钴合金层（12）和第三光刻胶层（11）上表面涂敷光刻胶，形成第四光刻胶层（13），并进行曝光和显影，形成第四电路图形；步骤150，在第四电路图形上电镀形成第二金层（14）；步骤160，去除所有光刻胶层，得到探针卡的空间转换器。

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