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龙图腾网恭喜安徽越好电子装备有限公司申请的专利磁控溅射设备阴极的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119040843B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411506562.3，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权磁控溅射设备阴极的清洗方法是由江嘉;徐建柱;蔡好;聂晶;俞峰;沈纬徵;郑博鸿设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射设备阴极的清洗方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种磁控溅射设备阴极的清洗方法，包括：步骤S10、利用传送机构将第一挡板传送至所述工艺腔的相应位置，向所述工艺腔内送入溅射气体；步骤S20、使所述阴极处在第一工作状态，对预先固定在所述工艺腔内的第二挡板进行第一溅射镀膜；步骤S30、将所述阴极磁棒转动180度，使得所述阴极处在第二工作状态，对所述第一挡板进行第二溅射镀膜；步骤S40、交替进行步骤S20和步骤S30，直至完成清洗；步骤S50、将所述第一挡板从所述工艺腔移出。本申请通过交替对第一挡板和第二挡板进行溅射镀膜，可有效避免各挡板受高温而形变，并且有利于提升设备清洗阴极的效率。

本发明授权磁控溅射设备阴极的清洗方法在权利要求书中公布了：1.磁控溅射设备阴极的清洗方法，其特征在于，所述磁控溅射设备包括内置所述阴极的工艺腔和传送机构，所述阴极包括靶材以及转动设置在所述靶材内部的阴极磁棒，所述阴极具有溅射方向相反的第一工作状态和第二工作状态，所述清洗方法包括以下步骤：步骤S10、利用传送机构将第一挡板传送至所述工艺腔的相应位置，向所述工艺腔内送入溅射气体；步骤S20、使所述阴极处在第一工作状态，对预先固定在所述工艺腔内的第二挡板进行第一溅射镀膜；步骤S30、将所述阴极磁棒转动180度，使得所述阴极处在第二工作状态，对所述第一挡板进行第二溅射镀膜；步骤S40、交替进行步骤S20和步骤S30，直至完成清洗；步骤S50、将所述第一挡板从所述工艺腔移出；所述第一挡板绝缘，所述阴极接电源负极，所述第二挡板接地。

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