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恭喜北方工业大学谢亮获国家专利权

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龙图腾网恭喜北方工业大学申请的专利基于Fe3Ga合金的磁性绝缘体外延薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119320985B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411444608.3,技术领域涉及:C30B23/02;该发明授权基于Fe3Ga合金的磁性绝缘体外延薄膜及其制备方法是由谢亮;杨金宝;谢文钦;闵月淇;蒋昊岚设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

基于Fe3Ga合金的磁性绝缘体外延薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种基于Fe3Ga合金的新型磁性绝缘体外延薄膜及其制备方法,属于自旋电子学中自旋存储和逻辑运算技术领域,先将块体Fe3Ga靶材设置到直流电源位置,利用耐高温银胶将衬底固定在表盘中心位置,使靶材与衬底铝酸锶钽镧LSAT相对应,然后抽真空;接着开启直流电源,在靶材表面进行预溅射准备,辉光稳定后,开始正式溅射,溅射完成后,即可得到磁性绝缘体外延薄膜。本申请得到的磁性绝缘体外延薄膜具有优异的电学性能,其电阻率室温下达到400mΩ.cm;通过磁滞回线的测量发现其面内饱和磁化强度约为1100emucm3,其有效磁各向异性常数Keff较大,约为0.6×107ergcm3。

本发明授权基于Fe3Ga合金的磁性绝缘体外延薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于Fe3Ga合金的磁性绝缘体外延薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下制备步骤:步骤一、将块体Fe3Ga靶材设置到直流电源位置,利用耐高温银胶将衬底固定在表盘中心位置,使靶材与衬底相对应,启动真空系统,抽真空;步骤二、开启直流电源,在靶材表面进行预溅射准备,辉光稳定后,开始正式溅射,溅射完成后,即可得到基于Fe3Ga合金的磁性绝缘体外延薄膜;衬底为LSAT衬底;步骤一中,靶与衬底之间的距离设置为90mm,抽真空至真空度为1.3×10-5Pa;步骤一中,薄膜生长过程中,衬底温度保持在550℃,Ar气的压力恒定在1.3Pa,Ar气的流量为50sccm,N2的流量为0sccm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北方工业大学,其通讯地址为:100144 北京市石景山区晋元庄路5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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