恭喜常州鹏晟智能科技有限公司华晓倩获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州鹏晟智能科技有限公司申请的专利一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119224537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411381720.7,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法是由华晓倩;田鑫设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片检测装置技术领域,尤其是涉及一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法,包括底座及可拆卸安装在底座上的盖板,所述底座和盖板之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体,所述盖板上设置有用于检测芯片的探针,还包括压缩机、第一储气瓶、第二储气瓶和至少一个涡流管制冷器,所述压缩机的输出端与涡流管制冷器的涡旋室连通,所述涡流管制冷器的冷端与第一储气瓶连通,使用时,通过压缩机、涡流管制冷器、第一储气瓶和第二储气瓶配合,在第一储气瓶和第二储气瓶内存储所需温度的气体,并通过控制第一阀门和第二阀门向口腔体内输送所需温度气体,满足多种温度的检测要求,提高检测效率,降低了检测成本。
本发明授权一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法在权利要求书中公布了:1.一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置,包括底座(1)及可拆卸安装在底座(1)上的盖板(2),所述底座(1)和盖板(2)之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体(3),所述盖板(2)上设置有用于检测芯片的探针(4),其特征在于:还包括压缩机(5)、第一储气瓶(6)、第二储气瓶(7)和至少一个涡流管制冷器(8),所述压缩机(5)的输出端与涡流管制冷器(8)的涡旋室连通,所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)连通,所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)连通,所述第一储气瓶(6)的输出端和第二储气瓶(7)的输出端均与空腔体(3)连通,所述第一储气瓶(6)的输出端上设置有第一阀门(9),所述第二储气瓶(7)的输出端上设置有第二阀门(10);所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)之间设置有第三阀门(11);所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)之间设置有第四阀门(12);所述底座(1)和盖板(2)之间设置有第一储气室(22)和第二储气室(23),所述第一储气室(22)分别与第一储气瓶(6)的输入端和空腔体(3)连通,所述第一储气室22上设置有用于切断或者连通空腔体3以及第一储气瓶6的第五阀门13,所述第一储气室(22)上设置有用于向外部排气的第六阀门(14),所述第二储气室(23)分别与第二储气瓶(7)的输入端和空腔体(3)连通,所述第二储气室23上设置有用于切断或者连通空腔体3以及第二储气瓶7的第七阀门15,所述第二储气室(23)上设置有用于向外部排气的第八阀门(16)。
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