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龙图腾网恭喜上海稷以科技有限公司申请的专利一种具有反馈检测功能的可微调顶针装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119153387B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411255949.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种具有反馈检测功能的可微调顶针装置是由杨平设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有反馈检测功能的可微调顶针装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有反馈检测功能的可微调顶针装置，可微调顶针装置包括支撑环、基座、顶针、检测机构和调节机构，支撑环一侧设有连接座，连接座外接气缸，基座与支撑环紧固连接，顶针与基座滑动连接，顶针设有四组，检测机构与支撑环紧固连接，检测机构用于检测顶针的水平度，调节机构与支撑环紧固连接，调节机构用于调节顶针的位置，本申请的顶针装置安装在晶圆处理工艺腔内，基座固定在支撑环上为顶针提供支撑，在安装时用水平仪将顶针和支撑环组件调至水平，将顶针支撑环组件安装到气缸上，通过旋调外螺母来调整水平，若在使用过程中顶针的水平度发生变化，通过检测机构判断出水平度的偏移程度，再通过调节机构将偏移的顶针调至水平。

本发明授权一种具有反馈检测功能的可微调顶针装置在权利要求书中公布了：1.一种具有反馈检测功能的可微调顶针装置，其特征在于：所述可微调顶针装置包括支撑环（1）、基座（2）、顶针（3）、检测机构（4）和调节机构（5），所述支撑环（1）一侧设有连接座（11），所述连接座（11）外接气缸，所述基座（2）与支撑环（1）紧固连接，所述顶针（3）与基座（2）滑动连接，顶针（3）设有四组，所述检测机构（4）与支撑环（1）紧固连接，检测机构（4）用于检测顶针（3）的水平度，所述调节机构（5）与支撑环（1）紧固连接，调节机构（5）用于调节顶针（3）的位置；所述调节机构（5）包括保护壳（51）、电磁铁（52）、活塞（53）、斥磁铁（54）和连接软管（56），所述保护壳（51）与支撑环（1）紧固连接，所述保护壳（51）内设有第一腔室（511）和第二腔室（512），所述电磁铁（52）与第一腔室（511）紧固连接，电磁铁（52）外接电源，所述活塞（53）与第二腔室（512）滑动连接，所述斥磁铁（54）与活塞（53）紧固连接，所述连接软管（56）的一端与第二腔室（512）连通，连接软管（56）的另一端与活动槽（21）连通。

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