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龙图腾网获悉苏州鑫达半导体科技有限公司申请的专利一种芯片检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118914805B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410885311.4，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种芯片检测装置是由张育嘉设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片检测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片检测技术领域，尤其是一种芯片检测装置，包括基座；定位单元，包括定位盘、定位管，晶圆通过定位管吸附安装在定位盘上；检测单元，包括移动模组、探针和光学显微镜；传动单元，包括立轴、第一齿轮和第二齿轮，定位盘外缘面具有齿槽，移动模组驱动端安装有第三齿轮。本发明通过移动模组带动探针和光学显微镜移动一个距离单元，随着定位盘的旋转，探针和光学显微镜对晶圆最外圈的单元点全部都检测完毕，回到初始点后，移动模组再一次带动探针和光学显微镜移动一个距离单元，对晶圆上的第二圈芯片进行测试，如此往复，直至全部检测完毕，通过这种自动化测试，显著缩短每个晶圆的测试周期。相比人工操作，减少了人工干预的需求。

本发明授权一种芯片检测装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片检测装置，其特征在于：包括，基座（100），包括基板（101）和移动平台（102），所述移动平台（102）具有安装部（102a）；定位单元（200），包括定位盘（201）、定位管（202），所述定位盘（201）与外部气源连通有气孔（201a），并通过锁定电机（204）转动安装在所述安装部（102a）上，所述定位管（202）固定安装在所述定位盘（201）上并与所述定位盘（201）内部连通，晶圆通过所述定位管（202）吸附安装在所述定位盘（201）上；检测单元（300），包括移动模组（301）、探针（302）和光学显微镜（303），所述探针（302）和光学显微镜（303）集成安装在所述移动模组（301）上，用于对晶圆上的芯片进行电性和功能测试；传动单元（400），包括立轴（401）以及同轴设置在所述立轴（401）上的第一齿轮（402）和第二齿轮（403），所述定位盘（201）外缘面具有与所述第一齿轮（402）啮合连接的齿槽（201b），所述移动模组（301）驱动端安装有能与所述第二齿轮（403）啮合连接的第三齿轮（301e）；所述移动模组（301）包括支撑板（301a）、导向杆（301b）、螺纹杆（301c）以及移动座（301d），所述导向杆（301b）的两端与所述支撑板（301a）固定，所述支撑板（301a）安装在所述基板（101）上，所述螺纹杆（301c）位于所述导向杆（301b）的下方并与所述支撑板（301a）转动连接，所述移动座（301d）共同安装在所述导向杆（301b）和所述螺纹杆（301c）上；其中，所述第三齿轮（301e）固定安装在所述螺纹杆（301c）上；所述定位管（202）包括管体（202a）、活塞（202b）、空心柱（202c）和吸盘（202d），所述活塞（202b）密封连接在所述管体（202a）内并具有贯通孔（202b-1），所述空心柱（202c）滑动安装在所述管体（202a）中且位于所述管体（202a）外的一端与所述吸盘（202d）固定，所述空心柱（202c）的另一端与所述活塞（202b）固定；所述定位盘（201）内设置有水道（201d），所述水道（201d）具有进水口（201d-1）和出水口（201d-2），所述进水口（201d-1）和所述出水口（201d-2）均用于与水源连接；一侧所述支撑板（301a）上固定安装有清洁单元（500），所述清洁单元（500）包括清洁盒（501）、支撑套（502）和清洁棉（503），所述清洁盒（501）表面具有开口，内部填充有清洁液，所述清洁棉（503）套设在所述支撑套（502）上并转动安装在所述清洁盒（501）的开口内，所述支撑套（502）具有延伸轴（502a），所述清洁盒（501）内壁具有可容纳所述延伸轴（502a）的凹槽（501a），所述延伸轴（502a）与所述凹槽（501a）内壁之间设置有棘轮机构（504），用于控制所述清洁棉（503）的单向旋转。

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