鑫巨(深圳)半导体科技有限公司马库斯·郎获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫巨(深圳)半导体科技有限公司申请的专利一种磁悬浮输送结构以及输送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222728994U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421557564.0，技术领域涉及：B65G54/02；该实用新型一种磁悬浮输送结构以及输送装置是由马库斯·郎;马丁·施莱;吴国明;黄新国设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁悬浮输送结构以及输送装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种磁悬浮输送结构，包括支撑座、定子组件、动子组件以及导向组件；可以实现工件的无接触式的往复输送，操作方便，输送效率高，避免了传统的输送结构因摩擦产生的废屑或颗粒物，减少对后续制程空间及设备的影响，同时也可以确保工件加工车间的洁净度，减少不必要的维护成本。还提供了一种采用上述磁悬浮输送结构的输送轨道构成的输送装置，可以带动工件在x轴方向、y轴方向上的往复移动，在不同加工工艺的加工工位之间进行往复输送，操作更加方便，输送效率高；同时输送轨道在不同方向上还设置有多个，可以实现多工件的加工输送需求，适应性强。
本实用新型一种磁悬浮输送结构以及输送装置在权利要求书中公布了：1.一种磁悬浮输送结构，其特征在于，包括支撑座（1）、定子组件（2）、动子组件（3）以及导向组件（4），所述定子组件（2）固定设置在支撑座（1）上，所述动子组件（3）悬浮设置在定子组件（2）的上方且在磁场力作用下实现往复运动，所述动子组件（3）与支撑座（1）之间设置有导向组件（4），用于动子组件（3）的导向，所述动子组件（3）上设置有悬挂架（5），用于装载工件。
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