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苏州纳丰真空技术有限公司付礼明获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州纳丰真空技术有限公司申请的专利一种真空镀膜的靶材固定结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222729886U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421541263.9,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种真空镀膜的靶材固定结构是由付礼明;刘传省设计研发完成,并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种真空镀膜的靶材固定结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种真空镀膜的靶材固定结构,包括主腔体以及副腔体,副腔体铰接装配于主腔体侧边,副腔体内部上下两侧均固定装配有承载盘以及固定盘,固定盘位于承载盘远离副腔体中心一侧,承载盘和固定盘均与主腔体内壁匹配,副腔体内部装配有装配机构;装配机构包括承载管,承载管装配于两个承载盘之间,承载管装配有若干均匀分布的装配杆,装配杆固定装配有若干均匀分布的固定组件,固定组件包括L形固定杆,L形固定杆一端固定设于装配杆,L形固定杆另一端可拆卸固定装配有固定块,固定块外侧固定装配有橡胶塞,固定块端部固定设有U形弹片。

本实用新型一种真空镀膜的靶材固定结构在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜的靶材固定结构,包括主腔体以及副腔体,其特征在于:所述副腔体铰接装配于所述主腔体侧边,所述副腔体内部上下两侧均固定装配有承载盘以及固定盘,所述固定盘位于所述承载盘远离所述副腔体中心一侧,所述承载盘和所述固定盘均与所述主腔体内壁匹配,所述副腔体内部装配有装配机构;所述装配机构包括承载管,所述承载管装配于两个所述承载盘之间,所述承载管装配有若干均匀分布的装配杆,所述装配杆固定装配有若干均匀分布的固定组件,所述固定组件包括L形固定杆,所述L形固定杆一端固定设于所述装配杆,所述L形固定杆另一端可拆卸固定装配有固定块,所述固定块外侧固定装配有橡胶塞,所述固定块端部固定设有U形弹片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州纳丰真空技术有限公司,其通讯地址为:215134 江苏省苏州市相城区渭塘镇渭中路81号5号楼306;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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