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龙图腾网获悉成都博视达科技有限公司申请的专利一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118712112B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410869068.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备是由袁志强;闫大庆;王浩;李世龙;郝立猛设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆检测设备技术领域，公开了一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备，包括NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件、边缘图像检测组件、吸晶圆旋转组件和X轴模组，所述NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件和边缘图像检测组件设置在检测工位的周围，所述吸晶圆旋转组件安装在X轴模组上，所述X轴模组驱动吸晶圆旋转组件移动直至晶圆位于检测工位，所述吸晶圆旋转组件包括用于吸附晶圆的吸附盘和用于驱动吸附盘转动的驱动电机；所述NOTCH定位组件包括NOTCH感应器，位于检测工位处的晶圆的边缘位于NOTCH感应器的感应区内；本发明提供的一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备，解决了现有技术对晶圆边缘检测效率低的问题。

本发明授权一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备，其特征在于：包括NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件、边缘图像检测组件、吸晶圆旋转组件和X轴模组，所述NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件和边缘图像检测组件设置在检测工位的周围，所述吸晶圆旋转组件安装在X轴模组上，所述X轴模组驱动吸晶圆旋转组件移动直至晶圆位于检测工位，所述吸晶圆旋转组件包括用于吸附晶圆的吸附盘和用于驱动吸附盘转动的驱动电机；所述NOTCH定位组件包括NOTCH感应器，位于检测工位处的晶圆的边缘位于NOTCH感应器的感应区内；所述NOTCH图像采集组件包括NOTCH图像采集相机，所述NOTCH图像采集相机从晶圆的一侧对准位于检测工位处的晶圆的边缘；所述边缘图像检测组件包括上边缘相机、下边缘相机和晶圆检测区域，位于检测工位处的晶圆的边缘位于晶圆检测区域内，所述上边缘相机和下边缘相机倾斜对准位于晶圆检测区域内的晶圆的边缘；所述NOTCH图像采集组件包括上光源、下光源和侧光源，所述上光源和下光源呈八字形倾斜设置在晶圆边缘的上方和下方，所述侧光源位于靠近NOTCH图像采集相机的一侧，所述侧光源上设有拍摄孔，所述NOTCH图像采集相机的拍摄视野对准拍摄孔；所述边缘图像检测组件包括弧形光源，所述弧形光源的一端具有开口，所述晶圆移动到检测工位的过程中，所述晶圆的边缘从开口处进入弧形光源内的晶圆检测区域。

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