深圳清溢微电子有限公司朱春辉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳清溢微电子有限公司申请的专利一种曝光夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222774732U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421492998.7,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种曝光夹具是由朱春辉设计研发完成,并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光夹具在说明书摘要公布了:本申请公开一种曝光夹具,涉及夹具技术领域,以解决所需的尺寸小的基板无法完全放置在IC掩模版光刻机平台的三处支撑点上进行曝光处理,现有往往使用大尺寸的基板曝光处理后再进行切割、磨边成小尺寸基板,导致工序增加,需对基板反复清洗、且容易划伤基板的问题。包括:夹持板,其上表面开设有夹持槽,所述夹持槽用于夹持基板;弹力固定机构,其设置于所述夹持板上,并位于所述夹持槽的一端,所述弹力固定机构用于夹持固定所述夹持槽内的基板。
本实用新型一种曝光夹具在权利要求书中公布了:1.一种曝光夹具,其特征在于,包括:夹持板,其上表面开设有夹持槽,所述夹持槽用于夹持基板;弹力固定机构,其设置于所述夹持板上,并位于所述夹持槽的一端,所述弹力固定机构用于夹持固定所述夹持槽内的基板。
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