深圳市恒运昌真空技术股份有限公司杨靖获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利等离子体产生装置及等离子体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222776358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421492808.1，技术领域涉及：H05H1/24；该实用新型等离子体产生装置及等离子体加工设备是由杨靖;刘涛;乐卫平;宋成;张文杰;谢幸光设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体产生装置及等离子体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子体产生装置及等离子体加工设备，涉及等离子体加工技术领域，其中，该等离子体产生装置包括等离子体产生主体、电离组件以及扩散组件，等离子体产生主体具有贯穿设置的气流通道，该气流通道具有进气口和出气口，分别用于接入和排出工艺气体，扩散组件和电离组件间隔设置在气流通道中，电离组件用于将工艺气体电离生成等离子体，扩散组件用于将工艺气体进行扩散；等离子体产生主体上还设有连接部用于与外部等离子体处理装置可拆卸连接，连接部实现了等离子体产生装置和等离子体处理装置之间的便捷拆装，有利于两个模块的维修和更换，提高等离子体产生装置的适用性。
本实用新型等离子体产生装置及等离子体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体产生装置，其特征在于，包括：等离子体产生主体，所述等离子体产生主体包括气流通道、扩散组件和电离组件，所述扩散组件和电离组件设于所述气流通道内，所述气流通道具有进气口和出气口；所述电离组件用于对流过的工艺气体进行电离以产生等离子体；所述扩散组件用于对被电离前和或被电离后的工艺气体进行扩散；所述等离子体产生主体具有连接部，所述连接部位于所述气流通道外，所述连接部用于与外部等离子体处理装置可拆卸连接，所述气流通道的出气口与外部等离子体处理装置的反应腔体对接，以用于向反应腔体供给等离子体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号