上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司周慈豪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222766880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421459390.4，技术领域涉及：B08B9/032；该实用新型一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统是由周慈豪设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统，包括：连接喷射管路的清洁单元，所述喷射管路用于将通入的干燥液通过喷射口向干燥单元内部喷射进行干燥处理工艺；所述清洁单元用于在停止向所述喷射管路通入所述干燥液时，向所述喷射管路通入冲洗液，对所述喷射管路和所述喷射口进行清洗，并在停止通入所述冲洗液后，向所述喷射管路通入吹扫气体，对所述喷射管路和所述喷射口进行清洗后的吹干。本实用新型能实现对喷射管路内壁上及喷射口中积聚的附着物进行在线自动清洁，保证了工艺质量和可靠性，并节约了维护时间，同时避免了以往因拆卸而可能造成的二次污染。
本实用新型一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统在权利要求书中公布了：1.一种喷射管路清洁装置，其特征在于，包括：连接喷射管路的清洁单元，所述喷射管路用于将通入的干燥液通过喷射口向干燥单元内部喷射进行干燥处理工艺；所述清洁单元用于在停止向所述喷射管路通入所述干燥液时，向所述喷射管路通入冲洗液，对所述喷射管路和所述喷射口进行清洗，并在停止通入所述冲洗液后，向所述喷射管路通入吹扫气体，对所述喷射管路和所述喷射口进行清洗后的吹干。
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