苏州赋金科技有限公司樊舒凯获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赋金科技有限公司申请的专利一种消静电耐磨耐腐蚀多尺寸晶圆搬运陶瓷机械臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222775300U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421376506.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种消静电耐磨耐腐蚀多尺寸晶圆搬运陶瓷机械臂是由樊舒凯;钟学兵;贝国平设计研发完成，并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种消静电耐磨耐腐蚀多尺寸晶圆搬运陶瓷机械臂在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体的说是一种消静电耐磨耐腐蚀多尺寸晶圆搬运陶瓷机械臂，包括承载臂，所述承载臂的一端由上至下分别开设有上定位槽和下定位槽，所述上定位槽的尺寸大于下定位槽，所述下定位槽的表面开设有承载槽，所述承载臂的表面安装有固定组件，所述固定组件包括T形的压板和微型的电动推杆；本实用新型使用时，通过上定位槽用于承载转运12英寸的晶圆，下定位槽用于承载转运8英寸的晶圆，相较于现有技术，增加承载臂的适用面，且通过压板下压在晶圆的顶部进行定位，使承载臂在运输晶圆的过程中，避免晶圆位置偏移。
本实用新型一种消静电耐磨耐腐蚀多尺寸晶圆搬运陶瓷机械臂在权利要求书中公布了：1.一种消静电耐磨耐腐蚀多尺寸晶圆搬运陶瓷机械臂，包括承载臂1，其特征在于：所述承载臂1的一端由上至下分别开设有上定位槽3和下定位槽4，所述上定位槽3的尺寸大于下定位槽4，所述下定位槽4的表面开设有承载槽5，所述承载臂1的表面安装有固定组件6，所述固定组件6包括T形的压板61和微型的电动推杆62，所述压板61贯穿承载臂1，所述电动推杆62位于压板61的两侧，所述电动推杆62的底端与承载臂1铰接，且电动推杆62的驱动端与压板61铰接。
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