东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司王庆涛获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222774517U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421259037.1,技术领域涉及:G01N23/2204;该实用新型用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备是由王庆涛设计研发完成,并于2024-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备在说明书摘要公布了:本申请属于半导体制造技术领域,尤其是涉及一种用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备。该机台包括机台本体、线性移动模组、工作台以及至少一个调节装置。线性移动模组设置于机台本体上;工作台用于承载样品,工作台连接于线性移动模组并设置为能够在线性移动模组的驱动下相对机台本体移动;每个调节装置用于转动工作台,以消除工作台在移动过程中的扭转。通过调节每个调节装置能够推动工作台扭转,以将工作台扭转至理想装配位置,即消除工作台因装配误差产生的扭转,确保能够获取准确的位置数据。
本实用新型用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体检测设备的机台,其特征在于,包括:机台本体140;线性移动模组130,设置于所述机台本体140上;工作台110,用于承载样品,所述工作台110连接于所述线性移动模组130并设置为能够在所述线性移动模组130的驱动下相对所述机台本体140移动;以及至少一个调节装置120,每个所述调节装置120用于转动所述工作台110,以消除所述工作台110在移动过程中的扭转。
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