恭喜亚新半导体科技(无锡)有限公司全宰弘获国家专利权
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龙图腾网恭喜亚新半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种等离子刻蚀设备反应腔清洗机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222766895U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421210134.1，技术领域涉及：B08B9/087；该实用新型一种等离子刻蚀设备反应腔清洗机构是由全宰弘设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子刻蚀设备反应腔清洗机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子刻蚀设备反应腔清洗机构，包括壳体，所述壳体的两侧均开设有滑槽，滑槽内活动连接有滑块，滑块的顶部固定连接有两个弹簧，且弹簧与壳体的顶部内壁相固定，所述滑块的一侧固定连接有螺纹杆，且螺纹杆与壳体相固定，所述螺纹杆的外侧活动连接有固定板，固定板的底部固定连接有连接架，所述固定板的内部活动连接有蜗轮，且蜗轮与螺纹杆螺纹连接，所述连接架的底部活动连接有清洁辊，所述连接架的顶部设有动力组件。本实用新型不仅能够通过清洁辊对反应腔底部沉积的物质进行清理，还能够通过磁条方便工作人员将装置与等离子刻蚀设备反应腔之间进行连接固定。
本实用新型一种等离子刻蚀设备反应腔清洗机构在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀设备反应腔清洗机构，包括壳体1，其特征在于，所述壳体1的两侧均开设有滑槽6，滑槽6内活动连接有滑块7，滑块7的顶部固定连接有两个弹簧17，且弹簧17与壳体1的顶部内壁相固定，所述滑块7的一侧固定连接有螺纹杆15，且螺纹杆15与壳体1相固定，所述螺纹杆15的外侧活动连接有固定板13，固定板13的底部固定连接有连接架11，所述固定板13的内部活动连接有蜗轮5，且蜗轮5与螺纹杆15螺纹连接，所述连接架11的底部活动连接有清洁辊10，所述连接架11的顶部设有动力组件，所述壳体1的底部固定连接有磁条2，所述动力组件包括电机，电机通过螺栓固定在连接架11的上表面，所述电机输出轴的一端安装有蜗杆12，且蜗杆12与蜗轮5相啮合，所述清洁辊10的一端和蜗杆12的一端均固定连接有带轮9，两个所述带轮9之间绕接有皮带8。
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