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龙图腾网恭喜武汉大学申请的专利一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117743784B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311657510.1，技术领域涉及：G06F18/20；该发明授权一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置是由东芳;欧阳宇航;刘胜;侯冬杨;周振;沈威设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置，所述预测方法包括，获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据；获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据的虚拟可视化属性，根据所述虚拟可视化属性建立数字孪生模型；根据所述数字孪生模型进行训练得到预测模型；根据所述预测模型模拟并预测通孔刻蚀结果，并根据所述实时数据对所述预测模型进行迭代优化。本发明无需反复实验进行优化，能够基于当前刻蚀出的玻璃通孔的结果及映射到数字孪生模型上的数据，自动对当前实验参数进行优化，不仅节省了人力和财力资源，也提高了实验效率；同时可以实时监控和提供质量保障，确保了刻蚀过程的稳定性和可靠性。

本发明授权一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法，其特征在于，包括，获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据；获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据的虚拟可视化属性，根据所述虚拟可视化属性建立数字孪生模型；根据所述数字孪生模型进行训练得到预测模型；根据所述预测模型模拟并预测通孔刻蚀结果，并根据所述实时数据对所述预测模型进行迭代优化；所述获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据的虚拟可视化属性包括，根据刻蚀液刻蚀石英玻璃过程中涉及到的物理属性将对象属性参数进行初始化，得到初始化的对象属性参数；根据所述初始化的对象属性参数描述物理属性的虚拟可视化属性得到物理实体模型，并建立组件库管理所述物理实体模型和存放虚拟可视化属性；其中，所述物理属性直接影响刻蚀速率以及通孔的几何特征；所述对象属性参数包括石英玻璃和刻蚀液的物理化学性质；所述物理实体模型包括微观尺度模型和宏观尺度模型；所述微观尺度模型中使用Lennard-Jones势能函数对石英玻璃的相邻SiO2的相互作用简化为两个SiO2分子的相互作用。

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