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龙图腾网恭喜浙江万得福智能科技股份有限公司申请的专利数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026183B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310922250.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法是由徐世杰;张一为;金胜焱;黄仕胜;申佳敏设计研发完成，并于2023-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法。该镀膜机包括立式真空室、工件架、接收套、行星传动装置、计算机及软件等部分。行星传动装置实现接收套的自动间距调节和自转公转功能。计算机辅助设计软件模拟工件在真空室内的摆放形态,确定工件架数量和间距。间距调节时,接收套进入调节区段,共用动力装置带动间距调节传动齿圈转动完成间距调整;定位齿圈与间距调节传动齿圈通过调节与定位组件实现啮合切换。整个镀膜过程实现数字化零介入,大大提高效率。与传统手工操作相比,本发明无需人工计算和设置工件位置,也无需人工调节接收套间距,实现了自动化智能化,具有数字化、零介入、高效率、精准可靠等显著优点和进步。

本发明授权数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法在权利要求书中公布了：1.一种数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机,其特征在于,包括:立式真空室01,用于进行镀膜;工件架02,可在真空室开启时携带工件吊入或移出真空室;接收套04,与工件架02相连,间距可调节;行星传动装置20,用于调节接收套04之间的间距,并实现接收套的自转和公转;计算机和辅助软件,用于模拟工件在真空室内的摆放形态,并确定工件架数量和间距;所述行星传动装置20包括:固定安装在真空室底部的固定基座21、与固定基座21可转动连接的行星架22;行星架22包括内圈23、外圈24和位于下方将内圈、外圈部分固连的连接实体25,内圈和外圈未被连接的区域用于布置接收套04,内圈23的内部是一个回转空腔26,向上和向外侧开口;紧密可转动安装在回转空腔26内部的自转传动齿圈27、所述自转传动齿圈27在向上和朝向外侧的侧面均具有啮合齿,在安装就位后两处啮合齿分别对应的位于回转空腔26向上和向外侧的开口,其中向上的啮合齿为圆柱形且高出开口一段;可紧密沿内圈23滑移的滑座28、紧密可转动地套接在滑座28的外周面上的涡轮29、涡轮29的内圈设有与自转传动齿圈27向上的啮合齿相配合的斜齿,外圈设有与蜗杆齿相配合的啮合齿;竖直设置并与涡轮29啮合的蜗杆30、一端固连在滑座28上、另一端为自由端、中间设有安装腔31以安装蜗杆30的承载座32、紧密可转动安装在外圈24上的间距调节传动齿圈33、同轴贴靠在间距调节传动齿圈33上方并且大小、齿形一致、同时与外圈24为固连的定位齿圈34、设在承载座32上的引导与复位组件35和调节与定位组件36,其中调节与定位组件36实现定位齿圈34与间距调节传动齿圈33之间的啮合切换,以调节接收套04的间距;一段固定在固定基座21内侧壁、且向外突出的调节区段211。

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