恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王廷煜获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115876082B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211534759.9,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法是由王廷煜;王之一;王建立;杨永强;糜小涛;遆云赞设计研发完成,并于2022-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法,在差分共焦测量系统的基础上,通过滑动窗口算法对差动共焦特性曲线的过零点进行监测,不仅能够监测过零点情况,准确的预测过零点时刻的到来,以此来控制差动共焦系统进行采样以及测量,能够在测量位置信息的同时,实时测量被测点处倾斜角度。在每次扫描测量过程中,只采集一次面阵探测器的光斑图像数据,用以满足高速采集需求的同时,保证测量精度,减小装调要求,更加适用于实际应用。不仅能够在保证测量的精确度,还能够提高动态响应速度。
本发明授权基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法,其特征在于,基于差分共焦测量系统实现差动共焦特性曲线的过零点的监测,所述差分共焦测量系统包括上位机,沿光路依次设置的激光光源、第一分束镜、聚焦透镜、光阑、第二分束镜、面阵探测器、差分共焦组件;所述差分共焦组件包括干涉测距仪、传动组件、第三分束镜、焦前聚焦透镜、焦前针孔、焦前光电探测器、焦后聚焦透镜、焦后针孔、焦后光电探测器;其中,所述上位机用于发送控制信号、数据采集和数据计算,控制所述传动组件的移动,控制所述面阵探测器、所述焦前光电探测器、所述焦后光电探测器的数据采集;所述传动组件与所述聚焦透镜固定连接,所述传动组件带动所述聚焦透镜沿激光光束方向往复移动来控制待测物表面的成像位置,所述干涉测距仪用于测量所述聚焦透镜移动的位移数值;所述焦前聚焦透镜的物平面位于焦前,在其像平面设置所述焦前光电探测器;所述焦后聚焦透镜的物平面位于焦后,在其像平面设置所述焦后光电探测器;所述激光光源发出的光束经所述第一分束镜透射至所述聚焦透镜、光阑,入射至待测物表面,经所述待测物表面反射后沿原光路返回,经所述第一分束镜反射至所述第二分束镜进行分光,反射光束作为角度测量光束入射至所述面阵探测器,透射光束作为位置测量光束入射至所述第三分束镜进行分光,被反射的光束作为焦前测量光束,所述焦前测量光束依次通过所述焦前聚焦透镜、所述焦前针孔后入射至所述焦前光电探测器;透射光束作为焦后测量光束,所述焦后测量光束依次通过所述焦后聚焦透镜、所述焦后针孔后入射至所述焦后光电探测器;所述测量方法包括如下步骤:S1、搭建所述差分共焦测量系统,开启激光光源,发送控制信号至所述传动组件,所述传动组件带动所述聚焦透镜沿所述激光光束方向匀速移动来控制所述待测物表面的成像位置,使所述成像位置从所述聚焦透镜的焦前位置移动到焦后;S2、采集所述焦前光电探测器、所述焦后光电探测器的光强数据,将所述焦前光电探测器的光强数据与所述焦后光电探测器的光强数据作差得到差动共焦特性曲线,并获取差动共焦特性曲线的差分信号数据;S3、使用滑动窗口算法对所述差分信号数据进行线性拟合,获取时间与差分信号之间的线性关系,根据所述线性关系实现差动共焦特性曲线的过零点的监测;S4、根据过零点的监测数据,通过所述干涉测距仪测量过零点位置所对应的所述聚焦透镜位移数值,获取所述待测物表面待测点的位置信息;同时根据过零点的监测数据,发送控制信号至所述面阵探测器进行光斑图像采集,通过光斑图像的峰值位置,获取倾斜角度与所述峰值位置之间的对应关系,进而完成所述待测物表面待测点的倾斜角度测量。
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