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龙图腾网恭喜同济大学申请的专利一种斜入射高性能窄带滤光薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115747745B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211491382.3，技术领域涉及：C23C14/46；该发明授权一种斜入射高性能窄带滤光薄膜的制备方法是由张锦龙;汲小川;焦宏飞;程鑫彬;王占山设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种斜入射高性能窄带滤光薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种斜入射高性能窄带滤光薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1：分别制备倾斜沉积的高、低折射率材料的单层膜；步骤2分别测试高、低折射率材料的单层膜的透射率和反射率曲线，根据透射率和反射率分别拟合获取高、低折射率材料的单层膜的厚度和折射率参数；步骤3：根据高、低折射率材料的单层膜的厚度和折射率参数，设计并确定在工作角度下，五腔窄带滤光薄膜的膜系结构；步骤4：根据五腔窄带滤光薄膜的膜系结构，制备斜入射高性能窄带滤光薄膜，并测试斜入射高性能窄带滤光薄膜的透射光谱。与现有技术相比，本发明能够解决现有技术中入射角度大于25°时窄带滤光薄膜的光学特性会发生显著变化的问题，且薄膜透过率高。

本发明授权一种斜入射高性能窄带滤光薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种斜入射高性能窄带滤光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：分别制备倾斜沉积的高、低折射率材料的单层膜；步骤2：分别测试步骤1制备的高、低折射率材料的单层膜的透射率和反射率曲线，根据透射率和反射率分别拟合获取高、低折射率材料的单层膜的厚度和折射率参数；步骤3：根据步骤2获取的高、低折射率材料的单层膜的厚度和折射率参数，设计并确定在工作角度下，五腔窄带滤光薄膜的膜系结构；步骤4：根据步骤3确定的五腔窄带滤光薄膜的膜系结构，制备斜入射高性能窄带滤光薄膜，并测试制备好的斜入射高性能窄带滤光薄膜的透射光谱；所述步骤3具体为：根据步骤2获取的高、低折射率材料的单层膜的厚度和折射率参数，设计五腔窄带滤光薄膜的初始膜系结构，再根据薄膜的物理厚度和光学厚度之间的关系，优化五腔窄带滤光薄膜的初始膜系结构，确定五腔窄带滤光薄膜的膜系结构为：Sub|1.02H1.04L^41.021H4.17L1.02H1.04L^101.2H2.09L1.02H1.04L^101.02H12.52L1.02H1.04L^101.2H2.09L1.02H1.04L^101.02H4.17L1.02H1.04L^41.39H1.37L|Air；其中，H为高折射率材料，L为低折射率材料；描述薄膜的物理厚度和光学厚度之间的关系的公式如下所示： 式中，Q为QWOT的单位厚度，λ0为控制波长，θm为工作角度，nλ0为材料在控制波长处的折射率，nm为匹配介质折射率，d为物理厚度；步骤3中，所述五腔窄带滤光薄膜由高、低折射率材料的介质层交替组成，所述五腔窄带滤光薄膜的腔层采用低折射率材料。

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