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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利光栅栅距测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115597511B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211343583.9，技术领域涉及：G01B11/14；该发明授权光栅栅距测量装置及方法是由刘兆武;姜岩秀;孙宇佳;刘林;李文昊;姜珊;王玮;张桐;于硕设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本光栅栅距测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明光栅栅距测量装置及方法涉及光栅检测领域，解决了人为操作对精度的影响，和高精度检测时系统的复杂程度的问题。利用光栅衍射干涉原理结合光栅相移定理解决以上问题，采用对称结构的Littrow衍射光相干涉，当光栅移动一个栅距时，其衍射光的相位变化一个周期，对称结构的Littrow衍射光干涉相位变化两个周期，利用差频相位检测原理和高倍的电子细分技术检测衍射光干涉相位变化，再利用双频激光测距系统检测光栅移动距离，通过高精度二维工作台的快速扫描可以对不同刻线密度光栅栅距进行高精度检测。

本发明授权光栅栅距测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.光栅栅距测量装置，其特征在于，该装置包括：工作台、双频激光光源、第一半反半透镜、第一反射镜组、双频测距干涉仪、测量镜、偏振分束片、第二反射镜组、第三反射镜组、第二半反半透镜和接收器；待测光栅和测量镜放置在所述工作台上，且待测光栅和测量镜之间的相对位置固定；所述双频激光光源发出重合的，偏振方向正交的两束双频激光，经过第一半反半透镜分光，透射光通过第一反射镜组反射，入射到双频测距干涉仪中，测量待测光栅与测量镜之间的相对位移；反射光经由偏振分束片后偏振光P光透射，偏振光S光反射；所述P光经过第二反射镜组入射到待测光栅后，经待测光栅衍射和反射分为两束，衍射光自准直衍射原路返回第二反射镜组不再考虑，反射光入射至第三反射镜组，反射光入射到第二半反半透镜后反射入射到接收器；所述S光经过第三反射镜组入射到待测光栅后，经被测光栅衍射和反射分为两束，衍射光自准直衍射原路返回第三反射镜组，反射光入射至第二反射镜组不再考虑，衍射光入射到第二半反半透镜后反射入射到接收器。

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